1、高精度、高重復(fù)性
?采用針孔,共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)保證測(cè)量精度高;
?2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
?1)測(cè)量與分析同界面操作,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;
2) 可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程;?
3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;?
4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;?
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;
6) 可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
測(cè)量原理 | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微物鏡 | 10x,20x,50x,100x | |
視場(chǎng)范圍 | 120x120?~1.2x1.2 mm | |
掃描幀率 | ≥4HZ | |
高度測(cè)量 | 重復(fù)性*1 | 20nm |
精度*1 | ±(0.2+L/100)? | |
顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測(cè)量 | 重復(fù)性*2 | 40nm |
精度*2 | 2% | |
顯示分辨率 | Inm | |
XY位移平臺(tái) | 尺寸 | 200×200mm |
移動(dòng)范圍 | 100×100mm | |
負(fù)載 | 10kg | |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z0軸掃指 | 范圍 | 10mm |
Z0軸掃描步長(zhǎng) | 20nm-150nm | |
Z向移動(dòng)范圍 | 100mm | |
物鏡塔臺(tái) | 5孔電動(dòng) | |
光源 | 白光LED | |
外形尺寸 | 540*379*594mm | |
總重量 | 45kg | |
工作電源 | AC 220V/50HZ | |
工作環(huán)境 | 溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動(dòng)<0.002g,低于15Hz |
在環(huán)境溫度20±2°C下用50X物鏡測(cè)量4.7?標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣塊。
在環(huán)境溫度20±2°C下用50X物鏡測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)刻線樣板。