產(chǎn)品介紹
型號 | TS-SY05 |
外形尺寸 | 600(W)×420(D)×320(H)mm |
腔體尺寸 | 直徑160*240mm |
腔體材質(zhì) | 石英玻璃 |
射頻電源 | 13.56MHz |
控制方式 | 人機界面 |
電源 | 220V/50Hz |
真空泵 | 油泵/干泵(選配) |
氣體通道 | 2路工作氣體 |
氣體流量 | 100-1000ml/s |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
產(chǎn)品特點
1、溫度低,確保對樣品表面沒有造成熱影響;
2、高密度等離子體,確保處理效果均勻;
3、自主研發(fā)軟件系統(tǒng),操作簡單易維護;
4、清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品;
產(chǎn)品應(yīng)用
材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領(lǐng)域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學(xué)改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。
該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料,并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。