熱式氣體質(zhì)量流量控制閥：組態(tài)靈活，功能強(qiáng)大，性能價(jià)格比高，是新一代流量?jī)x表。裝置在工作時(shí)對(duì)儀器的啟動(dòng)壓力有一定要求，根據(jù)流量大小來(lái)選擇，如果是流量量程較小的話需要啟動(dòng)壓力為1-3公斤；大流量的時(shí)候需要3-5公斤壓力，松盛測(cè)控的流量?jī)x表壓差可根據(jù)用戶實(shí)際使用壓力進(jìn)行選擇，可達(dá)幾十公斤。

   熱式氣體質(zhì)量流量控制閥：熱式質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測(cè)量無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償，測(cè)量方便，可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。該產(chǎn)品采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)，將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。用這種辦法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)輸入電路板，經(jīng)過(guò)放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測(cè)信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。