主機(jī)
型號(hào) | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
總倍率 | 54x - 17,280x | |||||
視場(chǎng)直徑 | 16um - 5,120um | |||||
幀率(激光觀察 )[fps] | 3.25 / 55.6 | |||||
幀率 (彩色觀察) [FPS] | 30 | |||||
測(cè)量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | ||||
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | ||||||
彩色 | ||||||
彩色-DIC | ||||||
光接收元件 | 激光:光電倍增管(2ch)彩色:CMOS彩色相機(jī) | |||||
高度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.5納米 | ||||
光柵尺 | 0.78納米 | |||||
動(dòng)態(tài)范圍 | 16位 | |||||
可重復(fù)性σ *1 *2 *5 n-1 | 5X:0.45μm, 10X:0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm | |||||
正確性 *1 *3 *5 | 0.15+L/100微米(L:測(cè)量值[毫米]) | |||||
拼接圖像正確性 *1 *3 *5 | 10X:5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm (L: 測(cè)量長(zhǎng)度[μm]) | |||||
測(cè)量噪聲(Sq噪聲) *1 *4 *5 | 1納米 | |||||
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 1納米 | ||||
可重復(fù)性 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X:0.4μm, 10X:0.2μm, 20X:0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm | |||||
精度 *1 *3 *5 | 測(cè)量值+/- 1.5% | |||||
拼接圖像精度 *1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [mm]) | |||||
單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 | 4096 x 4096像素 | |||||
測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 | 3600萬(wàn)像素 | |||||
XY載物臺(tái)配置 | 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 | ? | 不適用 | 不適用 | ? | 不適用 |
工作范圍 | 100×100毫米電動(dòng) | 100×100毫米手動(dòng) | 300 X300毫米電動(dòng) | 100×100毫米電動(dòng) | 100×100毫米手動(dòng) | |
樣品高度 | 100毫米 | 40毫米 | 37毫米 | 210 毫米 | 150毫米 | |
激光光源 | 波長(zhǎng) | 405納米 | ||||
輸出 | 0.95毫瓦 | |||||
激光分類(lèi) | 2類(lèi)(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014) | |||||
彩色光源 | 白光LED | |||||
電氣功率 | 240瓦 | 240瓦 | 278瓦 | 240瓦 | 240瓦 | |
質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約31公斤 | 約32公斤 | 約50公斤 | 約43公斤 | 約44公斤 |
控制箱 | 約12公斤 |
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證(溫度:20?C±1?C, 濕度:50%±1%)。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物鏡測(cè)量時(shí)超過(guò)20次。
* 3 在使用LEXT專(zhuān)用物鏡測(cè)量時(shí)。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。
* 5 基于奧林巴斯認(rèn)證體系保證。
物鏡技術(shù)規(guī)格
系列 | 型號(hào) | 數(shù)值孔徑(NA) | 工作距離(WD)(毫米) |
UIS2物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
LEXT專(zhuān)用物鏡(10X) | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
LEXT專(zhuān)用物鏡(高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
LEXT專(zhuān)用物鏡(長(zhǎng)工作距離型) | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
超長(zhǎng)工作距離物鏡 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
適用于LCD透鏡的長(zhǎng)工作距離 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
應(yīng)用軟件
標(biāo)準(zhǔn)軟件 | OLS50-BSW | 數(shù)據(jù)采集app 分析app (簡(jiǎn)單分析) |
電動(dòng)載物臺(tái)套裝應(yīng)用*1 | OLS50-S-MSP | |
擴(kuò)展分析應(yīng)用*2 | OLS50-S-AA | |
薄膜厚度測(cè)量 | OLS50-S-FT | |
自動(dòng)邊緣測(cè)量應(yīng)用 | OLS50-S-ED | |
顆粒物分析應(yīng)用 | OLS50-S-PA | |
多文件分析應(yīng)用 | OLS50-S-MA | |
球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用 | OLS50-S-SA |
* 1包括自動(dòng)拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
* 2包括輪廓分析、差值分析、臺(tái)階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。