PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。
技術(shù)參數(shù) | |
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主要參數(shù) |
● 大射頻功率: 100 W ● 真空泵功率: < 500W ● 總功率: < 600W ● 電源:AC 220V , 50Hz
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射頻電源 |
● 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) ● 頻率: 13.56 MH ● 可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源,來進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)
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等離子腔體 |
● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 ● 鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封 ● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口 ● 此設(shè)備屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏
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控制面板 |
● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等 ● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計,可精確地控制進(jìn)氣流量 ●
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真空泵(選配) |
● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ● 極限真空度為80mTorr(參考值,具體請點(diǎn)擊) ●
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通入氣體 |
● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定) ● 不能使用及腐蝕性氣體。
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可選 |
● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 ● 可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) ●
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外形尺寸 |
620 L ×600 W ×600 H mm
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認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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質(zhì)保期 |
● 一年保修,終身技術(shù)支持。 ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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相關(guān)應(yīng)用 |
● 請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試等離子功率 ● 對于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 - 30W之間 ● 對于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間 ● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源
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