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光學(xué)輪廓儀,大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SuperViewW
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/2/8 9:04:19
  • 訪問次數(shù)486
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深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售?! ≈袌D儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團隊、歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項技術(shù)能力強,具有多項技術(shù)和軟件知識產(chǎn)權(quán)。在微納米運動設(shè)計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了的設(shè)計、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案的能力?!≈袌D儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產(chǎn)業(yè)園擁有儀器設(shè)備精密加工、裝配檢測的專業(yè)生產(chǎn)制造基地,按照ISO9001、6S等標(biāo)準(zhǔn)進行生產(chǎn),為客戶提供的產(chǎn)品?! ≈袌D儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點遍及三十多個省、市、自治區(qū),海外市場快速成長,營銷網(wǎng)絡(luò)日逐完善。  中圖儀器經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設(shè)備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案?! ∧壳埃袌D儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計量質(zhì)量檢測機構(gòu)、汽車、航空航天、機械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè),部分產(chǎn)品達到水平,參與制定了多項國家標(biāo)準(zhǔn),為中國儀器在精密測量、計量檢測領(lǐng)域的技術(shù)進步做出了應(yīng)有的貢獻。  未來,中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻我們的力量,圖中國儀器技術(shù)之強大,鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器。
SuperViewW3光學(xué)輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量,獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)
光學(xué)輪廓儀,大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3 產(chǎn)品信息
SuperViewW3光學(xué)輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量,獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)??蓮V泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導(dǎo)體、光學(xué)加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域,以及高校、科研院和計量機構(gòu)等研究、檢測型單位。


產(chǎn)品功能

1) 樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;
2) 自動測量功能:自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能;
3) 編程測量功能:可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動測量功能,實現(xiàn)一鍵測量;
4) 數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5) 數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析;

作為大尺寸三維微觀形貌測量儀,SuperViewW3光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm,真空吸附盤能檢測12寸及以下尺寸的Wafer;氣浮隔振設(shè)計&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計,能確保儀器在千級車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾,穩(wěn)定工作。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高??蒲性核阮I(lǐng)域中。
 

半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)m棶a(chǎn)品功能

1)同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量,并可一鍵實現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓;
2)具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能,能夠一鍵測量數(shù)十個小區(qū)域的粗糙度求取均值;
3)具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量,覆蓋從1nm~1mm的測量范圍,實現(xiàn)高精度測量;

SuperViewW3光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。
15700106413
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