一、簡介：

　　　無油干式機(jī)械真空泵（又簡稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。 

　　　目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。  

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面： 

　　1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 

　　2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒； 

　　3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求； 

　　4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 

　　5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

二、分類：

干式真空泵主要有下列幾種形式：

干式螺桿真空泵

無油往復(fù)真空泵

爪式真空泵

無油渦旋真空泵

三、原理：

干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

無油往復(fù)真空泵

靠活塞往復(fù)運(yùn)動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。

爪式真空泵

爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級都有2個(gè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時(shí)則排氣完畢，如此循環(huán)工作。

無油渦旋真空泵

渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。

四、性能對比：

1）真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，極限真空均可達(dá)到1-2Pa；無油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備，極限真空低，需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。

2) 抽氣量：無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。

3）穩(wěn)定性：干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低；無油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡單，噪音較高，需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜，轉(zhuǎn)子與軸不為一體，出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配，反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。

4）特殊處理：由于化工、制藥等相關(guān)工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單，兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理，可選用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時(shí)損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。

五、供應(yīng)

威海智德真空科技有限公司主要供應(yīng)設(shè)備：

DP系列干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、水環(huán)真空泵、大型復(fù)雜真空機(jī)組。

公司：VV VV VV 。drypumps。net

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DP系列干式螺桿真空泵

性能特點(diǎn)：

1、工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空。

2、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況。

3、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體。

4、單臺泵可從大氣抽至1Pa，真空系統(tǒng)可大大簡化。

5、水溫對真空影響小，節(jié)水達(dá)90％以上,甚至可以不耗水。

6、不耗油,無滴漏。

7、旋轉(zhuǎn)部件間無摩擦,可高速運(yùn)轉(zhuǎn),整機(jī)體積小。

8、結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。

9、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。

10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組。

抽速曲線：

工作原理：

干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

JZJD系列干式真空機(jī)組

結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)：

JZJD系列干式真空機(jī)組是由常規(guī)羅茨真空、干式螺桿真空泵以及閥門、機(jī)架、電器控制箱組成的，其中干式螺桿真空泵作為前級真空泵，在達(dá)到羅茨真空泵啟動壓力時(shí)，由真空規(guī)頭及壓力變送器控制羅茨真空泵的啟停。由于羅茨真空泵及干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)部件均不接觸，因此整機(jī)具備運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小等優(yōu)點(diǎn)。

性能特點(diǎn)：

1：JZJD系列干式真空機(jī)組抽氣范圍廣（280-4320m3/h），真空度高（極限壓力可達(dá)0.01Pa）

2：即使在高真空下依然能保持較大的抽速，滿足客戶對高真空、大抽速的要求。

3：羅茨真空泵與干式螺桿真空泵可根據(jù)抽速比，搭配各種組合方案，有效降低能源消耗，達(dá)到性價(jià)比。

機(jī)組型號意義：

雙羅茨螺桿真空機(jī)組                         單羅茨螺桿真空機(jī)組

例1：JZJD1200-4.2 (ZJ1200/ ZJ300/DP430)      例2：JZJD600-5（ZJ600/DP430）

J—機(jī)組（漢字拼音ji 的個(gè)字母）   J—機(jī)組（漢字拼音ji 的個(gè)字母）

ZJ—羅茨真空泵        ZJ—羅茨真空泵

D—干式螺桿真空泵（前級泵）     D—干式螺桿真空泵（前級泵）

1200—主泵抽速（抽速 L/S）     600—主泵抽速（抽速L/S）

4—中間泵與主泵抽速比      5—主泵與前級泵抽速比

2—中間泵與前級泵抽速比

注：DP430為干式螺桿真空泵，抽速為120L/S

典型應(yīng)用/案例

石油、化工、生物制藥領(lǐng)域                      油氣、溶劑回收

電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域              紡織、冶金等行業(yè)

石油、化工、生物制藥領(lǐng)域

比傳統(tǒng)加工工藝的真空度更高，能夠在正常工作運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不間斷排除從泵進(jìn)氣口進(jìn)入的液體，解決了容積脫除和工作液的排除問題，可獲得最干凈的真空，實(shí)現(xiàn)中間容劑的回收。

具體應(yīng)用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、工廠普通真空。

油氣、溶劑回收

由于泵腔內(nèi)無油無水，對所抽氣體介質(zhì)無污染，因此在油氣、溶劑回收等方面擁有的優(yōu)勢

具體應(yīng)用：油氣回收、溶劑回收。

電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域

能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。

具體應(yīng)用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。

紡織、冶金等行業(yè)

在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵，比其他類型真空泵效率更高、無污染、更節(jié)能。

具體應(yīng)用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。