一、氣體質(zhì)量流量控制器原理
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度一致,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題,實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而 uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用 MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是 70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:
二、氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù) 采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的 MEMS( Microelectromechanicalsystems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。三、 氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
2.1 測量介質(zhì):空氣,氮氣,二氧化碳,氬氣,氧氣,氫氣,氦氣
2.2 流量范圍: DN2:20-10000mL/min
DN3:1000-30000mL/min
注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;
(b)以上流量的標準狀態(tài) 20℃,101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定
2.3 允許誤差:±1.5%FS
2.4 精度保證溫度:15-35℃;
2.5 工作壓力范圍:
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓:3MPa
MFC:工作壓差:
≦1L/min:0.05-0.3MPa
1-30L/min:0.1-0.3MPa
耐壓:3MPa
2.6 供電電源:24VDC
2.7 輸入信號:0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
2.9 環(huán)境溫度:5-45℃;
顯示位數(shù):瞬時流量為 6位,累積流量 8位。