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經(jīng)濟(jì)型反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

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  • 公司名稱重慶眺望科技有限公司
  • 品       牌
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  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/1/27 15:09:09
  • 訪問次數(shù)349
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眺望科技專注光電科技、半導(dǎo)體以及新能源行業(yè)。眺望科技自2005年成立以來, - -直致力于為客戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品與服務(wù)。目前,眺望科技與多個國際品牌-直保持著長期合作關(guān)系,主要包括美國AJA磁控濺射、離子刻蝕、電子束蒸發(fā)等PVD設(shè)備,美國AYMONT碳化硅等寬禁帶半導(dǎo)體材料生長工藝及設(shè)備,美國Digital Matrix*電鍍設(shè)備,德國SENTECH等離子體工藝設(shè)備等,美國Film Sense多波長橢偏儀,德國ATL激光器以及徠卡LEICA光學(xué)顯微鏡等產(chǎn)品。行業(yè)應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、真空鍍膜、光電科技以及材料分析等領(lǐng)域,服務(wù)范圍。眺望科技作為國際品牌代理商,依托良好的產(chǎn)品平臺和專業(yè)務(wù)實的服務(wù)團(tuán)隊,目前在國內(nèi)北京、上海、 成都、重慶等城市分別設(shè)立辦事處,與國內(nèi)科研院和企事業(yè)單位也建立了良好的合作關(guān)系。我們期待能為您提供更多更專業(yè)的行業(yè)解決方案。
RIEEtchlab200現(xiàn)價比高反應(yīng)離子刻蝕機(jī)Etchlab200采用直接裝片的平行板式等離子源設(shè)計
經(jīng)濟(jì)型反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

RIE Etchlab 200

 

現(xiàn)價比高

反應(yīng)離子刻蝕機(jī) Etchlab 200采用直接裝片的平行板式等離子源設(shè)計。 

擴(kuò)展性強(qiáng)

Etchlab 200可方便升級,包括抽速更大的真空單元、預(yù)真空室及附加氣路等。 

控制軟件 

控制軟件包括模擬用戶界面,參數(shù)窗口,工藝程序編輯器,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。 

 

Etchlab 200 RIE 刻蝕機(jī)是直接裝載晶圓片等離子刻蝕設(shè)備,兼有平行板電極的優(yōu)勢。 

Etchlab 200可以簡單快速的裝載直徑200或300mm的晶圓片到載片盤或電極上,具有靈活、模塊化和小型化的設(shè)計特點。

電極頂部有大尺寸觀察診斷窗口,同時反應(yīng)器能集成SENTECH激光干涉儀或者OES、RGA系統(tǒng)??梢允褂肧ENTECH橢偏儀,通過專用的橢偏儀端口進(jìn)行在線工藝監(jiān)控。 

Etchlab 200適用于可以直接裝載的晶圓片刻蝕,包括硅、硅化物、III-V族化合物半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬等材料。 

Etchlab 200可以通過SENTECH控制軟件界面進(jìn)行遠(yuǎn)程操作。

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