BYT-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶體生長(zhǎng)爐（采用感應(yīng)熔煉對(duì)金屬樣品熔化，額定溫度可達(dá)2100℃）。此系統(tǒng)采用組成：高頻感應(yīng)加熱電源，高真空腔體，石墨坩堝和精密提拉機(jī)構(gòu)。
| VIF真空感應(yīng)熔煉爐
| 型號(hào) | VIF-CZ | |||
| 額定熔煉重量（按鐵液計(jì)算） | 1Kg | ||||
| 額定加熱溫度 | 2100度 | ||||
| 高頻加熱電源 | 采用電源 | 高頻感應(yīng)電源 | |||
| 振蕩頻率 | 30-80KHZ | ||||
| 額定輸入功率 | 35KW | ||||
| 加熱電流 | 12-70A | ||||
| 冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | ||||
| 電源重量 | 35KG | ||||
| 負(fù)載持續(xù)率 | 99% | ||||
| 輸入電壓 | 三相380V 50或60HZ | ||||
| 加熱方式 | 感應(yīng)加熱 | ||||
| 腔體內(nèi)直徑 | 500mm | ||||
| 腔體真空度（分子泵機(jī)組） | < 8X10-4Pa | ||||
| 腔體充氣壓力 | < 0.5MPa | ||||
| 升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
| 過溫保護(hù) | 有 | ||||
| 過流保護(hù) | 有 | ||||
| 欠壓保護(hù)（水壓） | 有 | ||||
| 控溫模式 | 智能PID | ||||
| 控制精度 | +/- 1~ 5 ℃（600度以上） | ||||
| 溫度檢測(cè)方式 | B型熱電偶和紅外測(cè)溫儀相結(jié)合。溫度超過1800度，熱電偶退出，用紅外測(cè)溫儀測(cè)溫。 B型熱電偶的測(cè)量范圍：0-1800℃ 紅外測(cè)溫儀的測(cè)量范圍：900-2300℃ 點(diǎn)擊查看視頻 | ||||
| 紅外測(cè)溫儀 | 美國(guó)進(jìn)口紅外測(cè)溫儀，特點(diǎn)1、響應(yīng)時(shí)間快、高精度； 2、可24小時(shí)實(shí)時(shí)連續(xù)在線測(cè)溫、安全、耐用； 3、激光瞄準(zhǔn)、穩(wěn)定性好、尤其適合測(cè)量高溫小目標(biāo)； 4、10毫秒的響應(yīng)時(shí)間和&±0.3%的重復(fù)性精度，保證滿足您進(jìn)行快速、*測(cè)溫的要求。 | ||||
| 觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||||
| 選購(gòu) |
銅模 石墨漏斗 鉬攪拌桿 鎢坩堝 | ||||
| 電動(dòng)攪拌裝置（選配） | 該爐可以配攪拌裝置，可以勻速的對(duì)物料進(jìn)行攪拌，攪拌棒由一個(gè)調(diào)速電機(jī)帶動(dòng)、攪拌棒與爐體之間采用威爾遜或磁流體和波紋管密封，攪拌棒和電機(jī)在電動(dòng)動(dòng)絲桿的帶動(dòng)下可以上下自由滑動(dòng)，進(jìn)入坩堝和從坩堝里出來。 | ||||
| 提拉機(jī)構(gòu) | 精密可旋轉(zhuǎn)（籽晶桿可旋轉(zhuǎn)）提拉機(jī)構(gòu)，提拉速度為0.1μm/s~2000μm/s 總行程：150mm （可根據(jù)客戶需要定制） 轉(zhuǎn)速：0-40RPM 可快速手動(dòng)提拉 | ||||
| 真空機(jī)組
| 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |||
| 波紋管 | KF40X1000 | ||||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||||
| 前級(jí)機(jī)械泵FX-32
| 功率 | 1、2KW | |||
| 電壓 | 380V | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
| 進(jìn)氣口徑 | KF40 | ||||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 8 | ||||
| 極限壓強(qiáng) | 4X10-2Pa | ||||
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復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | |||
| 電源 | 220V 55W | ||||
| 控制精度 | &± 1% | ||||
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5-105Pa | ||||
| 二級(jí)泵 為分子泵 （方案一） | 分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
| 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||
| 輸入電壓 | 220V | ||||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
| 分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） | 600 | ||||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | ||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
| 建議啟動(dòng)壓強(qiáng) | <100Pa | ||||
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| 二級(jí)泵為擴(kuò)散泵
（方案二） | 擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） | 電壓 | 220V | |
| 功率 | 1000W | ||||
| 極限真空度（在無泄露時(shí)） | 10E-5Pa | ||||
| 進(jìn)氣接口 | DN150 | ||||
| 出氣接口 | DN40 | ||||
| 注入油量 | 0.3L | ||||
| 抽氣速率（N2） | 1000L/S | ||||
| 水冷機(jī)（選購(gòu)）
| 電源 | 220V 1、68KW | |||
| 額定揚(yáng)程 | 25M | ||||
| 額定流量 | 16L/min | ||||
| 水箱容量 | 15L | ||||
| 制冷量 | 4420Kcal/h | ||||
| 出入水口 | Rp1/2’’ | ||||
| 機(jī)器尺寸 | 67X47X89(長(zhǎng)X寬X高) | ||||
注意事項(xiàng)
1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對(duì)氣壓）的低壓條件下使用；
2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa，
進(jìn)氣流量<200SCCM（200ml/min)
3、請(qǐng)您仔細(xì)閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過程中請(qǐng)密切監(jiān)控并正確控制反
應(yīng)容器內(nèi)部壓力，否則，操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害
4、對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對(duì)樣品加熱，要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)
大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預(yù)見的損失
如您需要定制，請(qǐng)聯(lián)系我公司工程師
設(shè)備特點(diǎn)
1、采用臥式爐體，側(cè)部開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫*，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長(zhǎng)。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測(cè)溫儀，可以*的測(cè)量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長(zhǎng)。
結(jié)構(gòu)說明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結(jié)構(gòu)，爐蓋打開方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購(gòu)測(cè)溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測(cè)溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測(cè)溫儀，把紅外測(cè)溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào)，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對(duì)爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。
供貨范圍
| 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 生產(chǎn)廠家 | 數(shù)量 |
| 1 | 爐體系統(tǒng) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 2 | 直聯(lián)泵 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 臺(tái) |
| 3 | 擴(kuò)散泵 |
| 1 臺(tái) |
| 4 | 復(fù)合真空計(jì) | 成都正華 | 1 臺(tái) |
| 5 | IGBT 電源 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 6 | 匯流水管 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 7 | 高真空閥門 | 川北科技 | 3 件 |
| 8 | 感應(yīng)線圈 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 9 | 真空管路 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 10 | 說明書 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 2 套 |
| 11 | 紅外測(cè)溫儀 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 12 | 提拉機(jī) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
