勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們?cè)矶际且粯拥?,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機(jī),在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù),相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
型號(hào):SPIN-1200T
廠家鏈接:.cn/
SPIN-1200T
觸摸面板控制,各種涂層溶液的緊湊單元,可編程配方管理,操作簡單
?勻膠機(jī)
?基板尺寸:小于等于4英寸
?轉(zhuǎn)速:300~7000 rpm(空載時(shí)),誤差小于3%(海外10000 rpm)
?菜單程序:50步,50個(gè)配方
?卡盤材料:改性鋁、縮醛
?碗尺寸:8英寸
?碗材料:聚丙烯
?尺寸(mm)230(寬)*340(深)*260(高)
應(yīng)用范圍:
可用于光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機(jī)物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液;
全自動(dòng)的勻膠及顯影工藝必需的全自動(dòng)Chip生產(chǎn)設(shè)備: