HORIBA Smart SE智能型多功能橢偏儀
儀器介紹:
Smart SE智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單,快速,精確表征和分析的工具。
多功能性設(shè)計,配置靈活,具備多角度測量能力,可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。
技術(shù)參數(shù):
光譜范圍:450-1000nm
多種微光斑自動選擇
光斑可視技術(shù),可觀測任何樣品表面
CCD探測器
自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
主要特點:
一鍵式操作,直接報告輸出
液晶調(diào)制技術(shù),測量光路中無運動部件
CCD 探測系統(tǒng),快速全譜輸出
多個微光斑尺寸選擇,可視技術(shù)
多角度測量
可實現(xiàn)在線測量配置