精度范圍：≤(3.0+L/200)um L爲(wèi)被測(cè)長(zhǎng)度(單位:mm)
操作方式：全閉環(huán)CNC控制
量測(cè)分辨率：0.0005mm
三軸控制系統(tǒng)：日本松下伺服傳動(dòng)系統(tǒng)或同等級(jí)產(chǎn)品
成像系統(tǒng)：采用超清美國(guó)TEO成像技術(shù)或同等級(jí)產(chǎn)品
軟體：三軸自動(dòng)可程控式多功能軟體，可實(shí)現(xiàn)多重復(fù)雜測(cè)量自動(dòng)編程
放大倍數(shù)：超低變形 多段倍率遠(yuǎn)心光學(xué)設(shè)計(jì)光學(xué)放大倍率0.7-4.5X影像放大倍率20-140X(可定制40-280X)
精密側(cè)頭（選配）：

原裝英國(guó)雷尼紹MCP高精度三維測(cè)量頭，可針對(duì)內(nèi)錐

深度.高度.平面度.傾斜度.直線度等等簡(jiǎn)單三維測(cè)量

激光測(cè)頭（選配）：

原裝日本基恩士激光測(cè)頭可針對(duì)可于透明件，玻璃鍍層

玻璃曲翹的快速測(cè)量 平面度，厚度.深度 高度 偏擺等等