參數(shù)
產(chǎn)品型號：SuperView W1系列產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
影像系統(tǒng)：1024×1024
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
可測樣品反射率：0.05%-99%
臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
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產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。2) 測量中提供自動(dòng)多區(qū)域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
3d輪廓測量儀分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能，可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
應(yīng)用
以測量單刻線臺階為例，在檢查3d輪廓測量儀的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動(dòng)調(diào)整載物臺大概位置，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
在計(jì)算機(jī)上打開SuperViewW1儀器的測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，白光干涉儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測量，測量完成后，轉(zhuǎn)件自動(dòng)生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數(shù)。
