YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510
PR500 / 510是廣泛用于這種應用,生產(chǎn)半導體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性,具有自動調(diào)諧系統(tǒng)作為標準組件及其他功能。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機特點:
• 它具有一個緊湊的設(shè)計,具有小尺寸的高頻發(fā)生器和一個振蕩部分集成在一起的腔室的一部分。
• 隨著直徑215毫米大口徑室,單位可以處理大的測試樣品。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機產(chǎn)品規(guī)格:
產(chǎn)品規(guī)格 |
模型 | PR500 | PR510 | 法 | 桶型直等離子 | 控制部分 | 高頻輸出 | max 500W | 振蕩頻率 | 13.56 MHz | 輸出阻抗 | 50Ω | 調(diào)整方法 | 自動調(diào)諧 | 儀器 | 輸出功率表(0?600W) 反射波功率表(0?300W) 真空壓力表,熱電偶式 流量計,針型閥集成型,2臺 | 定時器 | 0.1秒。到999H | 進氣口 | 1/4“不銹鋼,2入口 | 電源(50 / 60Hz) | AC 100 / 220V,單相,2千伏安 | 反應部分 | 反應室 | 石英制成的,φ215×305毫米 | 電極結(jié)構(gòu) | 聚光型,四分割 | 控制系統(tǒng) | 自動減壓,自動閥泄漏 | 觸摸屏與PLC控制 | 配管材料 | SUS,鐵弗龍 | 外形尺寸(W×D×嗯) | 438×520×760 | 520×630×760 | 重量 | 約38千克 | 約60公斤 | YAMATO氣體等離子體刻蝕機標準配件 | 連接電纜:1配套 真空潤滑脂:1件 O形圈的反應室:1件。 | YAMATO氣體等離子體刻蝕機可選配件 | 幀的晶片,2,3,4,5,6英寸 多用途傾斜的框架 鋁蝕刻隧道,架 | | |