電子工業(yè)超純水設備主要用途:
微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水,半導體、顯象管制造業(yè)用超純水,集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水,蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產(chǎn)用水。
主要用途:
微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水,半導體、顯象管制造業(yè)用超純水,集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水,蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產(chǎn)用水。
工藝流程一:反滲透+混床
1.電子工業(yè)超純水概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
2.制備電子工業(yè)超純水的工藝流程
電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種:
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?rarr;多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3.電子工業(yè)超純水設備特點
電子工業(yè)超純水設備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
4.電子工業(yè)超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;