● 主要特點(diǎn)
1.放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺(tái)。
2.可迅速切換物鏡和六種觀察方式
3.遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個(gè)放大范圍內(nèi)的測量準(zhǔn)確度。
● 主要特點(diǎn)的細(xì)節(jié)
1.放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺(tái)。
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡新增了 5 個(gè)物鏡,物鏡總數(shù)達(dá)到 15 個(gè)。20-7,000X 的放大倍率范圍實(shí)現(xiàn)了精確觀察,而長工作距離物鏡則實(shí)現(xiàn)了對(duì)不規(guī)則樣品的觀察,例如電路板和機(jī)加工零件。顯微鏡頭部和載物臺(tái)都可以旋轉(zhuǎn) ± 90°,更易于觀察和分析薄樣品,如晶圓,或大型樣品,如汽車部件。
20–7,000X 放大倍率下的晶圓圖像對(duì)比
可調(diào)節(jié)的頭部和載物臺(tái)
顯微鏡頭部和載物臺(tái)可以分別旋轉(zhuǎn) ± 90°。
使用高分辨率長工作距離的物鏡
長工作距離使用戶能夠觀察不規(guī)則形狀的電子基板。
2.可迅速切換物鏡和六種觀察方式
顯微鏡的電動(dòng)變焦光路結(jié)合了*的觀察功能,可實(shí)現(xiàn)六種觀察方法和對(duì)比度增強(qiáng)功能:明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對(duì)比度增強(qiáng)功能可以突出樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。例如,此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規(guī)則形狀與細(xì)微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對(duì)象。
太陽能電池圖像對(duì)比
(左圖:明場觀察,右圖:偏光觀察)
單側(cè)光線照射突出了表面的不規(guī)則形狀。該項(xiàng)技術(shù)適用于觀察不規(guī)則形狀、扭曲的樣品和槽口。
集成電路 (IC) 芯片圖像對(duì)比
(左圖:常規(guī);右圖:帶對(duì)比度增強(qiáng)功能)
色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。
3.遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個(gè)放大范圍內(nèi)的測量精確性。*
汽車制造商、精密設(shè)備和其他產(chǎn)品制造商必須精確測量和分析產(chǎn)品的規(guī)格,以證明產(chǎn)品的安全性。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),在整個(gè)放大范圍內(nèi)圖像失真極低,實(shí)現(xiàn)了有保證的準(zhǔn)確度和重復(fù)性的高精度測量。為了確保準(zhǔn)確度,在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后,奧林巴斯的技術(shù)人員將根據(jù)客戶使用環(huán)境對(duì)每臺(tái)顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)。
遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)和非遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的圖像采集對(duì)比圖
改變聚焦位置不會(huì)改變圖像大小。