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離子束刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/12/22 16:05:12
  • 訪問次數(shù)573
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湖南艾科威智能裝備有限公司是集科研、制造、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的,業(yè)務(wù)主要覆蓋集成電路、分立器件、5G通訊、光電器件、傳感器等半導(dǎo)體領(lǐng)域,設(shè)備廣泛用于科研機構(gòu),大專院校,生產(chǎn)企業(yè)和公司的器件研究,開發(fā)和批量生產(chǎn)。公司致力于更*的設(shè)備與系統(tǒng)解決方案供應(yīng)商。 公司擁有一批在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域豐富經(jīng)驗的專業(yè)技術(shù)團隊。各類技術(shù)人才齊全,具有自主研發(fā),設(shè)計和生產(chǎn)的能力,公司始終堅持"質(zhì)量是企業(yè)的生命,創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的動力"為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和便捷的服務(wù)。 公司產(chǎn)品與工藝相結(jié)合,依托完備的設(shè)計基礎(chǔ)和優(yōu)勢的工藝技術(shù)力量,公司在產(chǎn)品設(shè)備上,開發(fā)了相應(yīng)的工藝,達(dá)到工藝與設(shè)備的結(jié)合,讓用戶獲得更佳的效果及解決方案. 服務(wù)領(lǐng)域集成電路、混合電路、分立器件、5G通訊、光電器件、傳感器、微波器件。
離子束刻蝕又稱為離子銑,利用離子源引出的離子束,直接轟擊工件,將工件上未被掩膜遮蔽的部分材料濺射出來,實現(xiàn)選擇刻蝕的目的。
離子束刻蝕機 產(chǎn)品信息
設(shè)備特點
●工件臺:圓周旋轉(zhuǎn)或者掃描運動,刻蝕角度可調(diào),刻蝕均勻性高,兼容刻蝕和拋光功能 
●工件臺采用水冷,確保晶片低溫刻蝕 
●可配置等離子體中和槍,確保晶片表面無電荷積累 
●可配置法拉第測束裝置,確保工藝參數(shù)的可重復(fù) 
●真空系統(tǒng)分子泵/低溫泵可選
 
技術(shù)指標(biāo)
●工件臺 
    適用晶片尺寸:4"~8",兼容不規(guī)則方片
    圓周旋轉(zhuǎn)/往復(fù)掃描運動
●離子源:考夫曼離子源 
     離子束能量:0eV~1000eV連續(xù)可調(diào) 
     束流 :200mA (圓形)或300mA (條形)
●刻蝕均勻性 :片內(nèi)±5%,片間±3%
 
應(yīng)用范圍
  用于在基板表面拋光或材料的去除,尤其適用于金屬材料薄膜的刻蝕,如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、NiCr等
關(guān)鍵詞:低溫泵
15700106413
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