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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

Reactive Ion Etcher (RIE)反應(yīng)式離子刻蝕機(jī)/ICP感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱諾有測(cè)控科技(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/12/21 16:04:58
  • 訪問(wèn)次數(shù)1134
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諾有測(cè)控科技(上海)有限公司是中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)入駐企業(yè)。公司立足于上海,面向市場(chǎng),是的測(cè)試儀器設(shè)備供應(yīng)商,擁有產(chǎn)品研發(fā)中心、生產(chǎn)基地和進(jìn)出口權(quán),公司實(shí)力雄厚。 多年來(lái)我們建立及健全了一支由多名來(lái)自不同領(lǐng)域、不同國(guó)籍、且在各領(lǐng)域擁有良好經(jīng)驗(yàn)的高學(xué)歷的科學(xué)家組成的技術(shù)隊(duì)伍;擁有一批畢業(yè)于各高等院?;驈氖逻^(guò)測(cè)試領(lǐng)域工作的、有著良好行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的銷售隊(duì)伍;亦發(fā)展了一支經(jīng)驗(yàn)豐富,經(jīng)過(guò)技術(shù)培訓(xùn)并有多年維修服務(wù)經(jīng)驗(yàn)的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì);同時(shí)我們亦配備了足夠的人力從事訂貨、物流、客戶服務(wù)工作。所有這一切,均為我們達(dá)到公司的宗旨“為客戶提供、質(zhì)的服務(wù),一切以客戶為依歸”提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。 通過(guò)與業(yè)務(wù)伙伴的緊密合作,憑借覆蓋全國(guó)的營(yíng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò),致力于為客戶提供專業(yè)、方便、快捷的本地化服務(wù)。同時(shí),我們的產(chǎn)品還遠(yuǎn)銷到東南亞、印度、巴西、非洲、歐洲、美國(guó)等市場(chǎng)。 我們的客戶涉及新能源、汽車、通信及信息技術(shù)、教育科研、航空航天、微電子、、生物醫(yī)藥、節(jié)能環(huán)保、工業(yè)電子等行業(yè)和領(lǐng)域。 展望未來(lái),我們將緊隨時(shí)代步伐,在測(cè)試科研領(lǐng)域不斷發(fā)展,我們也將繼續(xù)通過(guò)不懈的努力,為客戶提供"更豐富的產(chǎn)品選擇、更經(jīng)濟(jì)的解決方案、更全面的專業(yè)服務(wù)"。
一體型機(jī)臺(tái),結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)占地空間900mm*1100mm~800mm*1560mm
Reactive Ion Etcher (RIE)反應(yīng)式離子刻蝕機(jī)/ICP感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

一體型機(jī)臺(tái),結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)占地空間900mm*1100mm ~ 800mm*1560mm;

基于工控機(jī)的控制方案,自主開(kāi)發(fā)的全自動(dòng)控制系統(tǒng),可高度定制化;


特點(diǎn):

● 一體型機(jī)臺(tái),結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)占地空間900mm*1100mm ~ 800mm*1560mm;
● 基于工控機(jī)的控制方案,自主開(kāi)發(fā)的全自動(dòng)控制系統(tǒng),可高度定制化;
● 機(jī)臺(tái)配置靈活,可作為專用刻蝕機(jī)臺(tái)也可以用于多用途刻蝕機(jī)臺(tái);
● 模塊化設(shè)計(jì),維護(hù)與升級(jí)極其方便;
● 工藝性能*穩(wěn)定。

主要技術(shù)性能指標(biāo):

● 樣片尺寸:2英寸及以下小尺寸碎片和非晶圓樣品、4英寸晶圓、4~6英寸晶圓、8英寸晶圓(可定制12英寸);
● BRF功率源: 300W/500W可調(diào),13.56MHZ;500W/1,000W可調(diào),13.56MHZ;1,000W/2,000W可調(diào),13.56 & 27MHZ;
● 氣體種類: RIE: O2,Ar,CF4,SF6,CHF3(標(biāo)配三路氣體);ICP:H2,CH4,O2,N2,Ar,SF6,CF4,CHF3,C4F8,NF3,NH3,C2F6等;
● 氣體流量控制:MFC;
● 樣片控溫: RIE 10℃~室溫,ICP控溫精度±1℃; -30°C~100°C/200/°C定制;
● 控制系統(tǒng):工控機(jī),板卡結(jié)構(gòu);全自動(dòng)(可定制);
● 交互界面:觸摸屏;
● 蝕刻材料:RIE: 硅、二氧化硅、石英、氮化硅、有機(jī)材料;ICP:硅基材料、金屬材料、有機(jī)材料、三五族和二六族化合物、陶瓷材料等。

主要應(yīng)用:

● 芯片失效分析去層蝕刻(RIE/ICP);
● 光電子三五族材料蝕刻(ICP);
● 深硅蝕刻和圖形加工(ICP);
● 光刻膠等有機(jī)物殘留去除(ICP)。

型號(hào):SHL FA100P-RIE/ SHL FA150E-RIE/ SHL200-ICP/ SHL200S-ICP/ SHL200C-ICP/ SHL200D-ICP

15700106413
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