應(yīng)用方向:科研與教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢:耐氟基或更弱腐蝕性氣體
產(chǎn)品配置:
★樣片數(shù)量及尺寸:1片Ф6英寸
★刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等
★刻蝕腔體:高真空系統(tǒng)
★刻蝕不均勻性:±3%-±6%
★刻蝕速率:0.1-4μm/min(視具體材料與工藝)
★工作臺(tái):可升降,包含水冷
★電源配置:上電極射頻,下電極偏壓,包含自動(dòng)匹配
★氣路數(shù)量與種類:6路耐氟基腐蝕氣路 或 用戶選配
★深硅刻蝕系統(tǒng):可選配
★He冷背吹系統(tǒng):可選配
★終點(diǎn)檢測控制:可選配質(zhì)譜儀
★操作模式:全自動(dòng)+半自動(dòng)控制
類似產(chǎn)品:帶單片送樣室(ICP-5100);帶單片送樣室耐氯氣腐蝕(ICP-5101)
設(shè)備詳細(xì)結(jié)構(gòu)與功能,請(qǐng)咨詢銷售工程師。