ME-L 穆勒矩陣橢偏儀
1、超寬的光譜范圍：采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm
2、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制：高精度旋轉(zhuǎn)與觸發(fā)同步控制，實(shí)現(xiàn)高速光譜數(shù)據(jù)采集
3、全穆勒矩陣測(cè)量：基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置，可一次獲取穆勒矩陣的16個(gè)元素，相對(duì)于傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測(cè)量信息
4、超級(jí)消色差補(bǔ)償設(shè)計(jì)：補(bǔ)償器技術(shù)，適應(yīng)從深紫外到近紅外寬光譜范圍內(nèi)高精度相位調(diào)制要求
5、豐富的材料數(shù)據(jù)庫(kù)和算法模型：數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)、涵蓋了目前絕大部分的光學(xué)材料
6、向?qū)浇换ソ缑妫很浖驅(qū)Ы换ナ饺藱C(jī)界面操作，為用戶提供優(yōu)質(zhì)操作體驗(yàn)
7、納米光柵分析能力：*分析算法模型實(shí)現(xiàn)各種納米光柵結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息提取
二、技術(shù)參數(shù)：
| 基本功能 | 一次性獲取穆勒矩陣、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 |
| 光譜范圍 | 380-1000nm（210-1650nm可選） |
| 測(cè)量時(shí)間 | 1-8s |
| 入射角范圍 | 45-90° |
| 光斑尺寸 | 2-3mm/200um |
| 重復(fù)性精度 | 0.005nm(100nmSiO2硅片) |
| 精度 （空氣介質(zhì)） | 橢偏參數(shù)：ψ=45±0.05° Δ=0±0.01° |
| 穆勒矩陣：對(duì)角元素m=1±0.005 非對(duì)角元素m=0±0.005 | |
| 分析軟件 | 多達(dá)數(shù)百種光學(xué)材料庫(kù)，支持用戶自定義 |
| 多層各向同性/異性光學(xué)薄膜、周期性光柵結(jié)構(gòu)建模仿真與分析功能 |
