特點:
1.8”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點干燥儀;
2.內(nèi)部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C;
3.Post-Purge 過濾器容易更換及維護;
4.內(nèi)置SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
5.的樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到6”、4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間達到;
6.可以一次干燥5片直徑為8”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑6”、4”、3”、7.2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
8.內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài);
9.通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結(jié)果的可重復性;
10.所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
11.可重復設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復性;
12.集成自動控溫;
13.內(nèi)置圓盤裂片保證安全;
14.靜態(tài)壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
15.0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
16.每個操作模式LED顯示,一目了然;
17.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計;
18.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
規(guī)格:
1.外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
2.安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
3.樣品室尺寸:內(nèi)徑8.50” × 深1.25”,樣品室容積:1162 ml;
4.溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
5.LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;
6.120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
1.高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
2.外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;
3.安裝工具;
4.防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
5.內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門
6.樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,3A和8A保險絲各2個;
7.5個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;
8.直徑為8、6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
9.流量計,可精確控制BLEED的排氣速率;
10.用戶手冊;
11.所有部件一年質(zhì)保。