一、儀器的功能及用途
能夠在大氣環(huán)境下準確地測量樣品表面臺階變化;使用金剛石(鉆石)探針接觸直動式測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。
二: 儀器的配置及主要技術指標
1. 標準配置
1)接觸直動式臺階儀主體
2)放大器
3)電腦以及相應中文版測量軟件
4)打印設備
5)金剛石觸針
6)CCD以及觀測裝置
2.主要性能指標
一、測定工件
v 1.工件尺寸:φ160mm
2.工件厚度:50mm
3.工件重量:2Kg
二、檢出器
1.Z方向測定范圍:Max.600μm
2.Z方向分辨率:0.1nm
3.測定力:1mg ~ 50mg
4.探針半徑:2μm
v 5.檢測驅(qū)動方式:直動式
v 6.再現(xiàn)性:0.2nm(1μm臺階儀下)
三、X軸
v 1.移動量(測長):100mm
v 2.移動真值度:0.2μm/100mm
3.移動、測定速度:0.005 ~ 20mm/s
v 4.線性尺(linarscale):分解能0.1μm
四、Z軸
1.移動量:50mm
2.移動速度:max.2mm/S
3.檢出器自動停止機能
4.位置決定分解能:0.1μm
v 5.線性度:±0.25%
五、工件臺
1.工件臺尺寸:φ160mm
2.機械手動傾斜:± 2℃(±5mm/160mm )
六、工件觀察:max.110倍(可選其他高倍率CCD)
v 七、床臺:花崗巖石材質(zhì)(120KG機臺,低重心)
八、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
九、機臺外觀尺寸及重量:W494×D440×H630mm,120kg