探針式輪廓儀新-升級(jí)到性能
德國布魯克 DektakXT 臺(tái)階儀(探針式表面輪廓儀)是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì),可以提供更高的重復(fù)性和分辨率。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的,更加鞏固了其行業(yè)地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量,通過在研究工作中的廣泛使用,DektakXT一定能夠做到功能更強(qiáng)大,操作更簡易,檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺(tái)階儀(探針式表面輪廓儀)的技術(shù)突破,使納米尺度的表面輪廓測量成為可能,從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件,半導(dǎo)體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。薄膜測試—確保高產(chǎn)
在半導(dǎo)體制造中嚴(yán)密監(jiān)測沉積和蝕刻比率均勻性,薄膜應(yīng)力,能節(jié)省大量時(shí)間和金錢。薄膜的不均勻或太大的應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致地產(chǎn)及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地設(shè)置和運(yùn)行自動(dòng)多點(diǎn)測試程序來檢驗(yàn)晶片薄膜的精確厚度,達(dá)到納米級(jí)別。DektakXT的重現(xiàn)性提供給工程師精確的薄膜厚度和應(yīng)力測試,來精確調(diào)節(jié)蝕刻和沉積以提供收益
表面粗糙度檢測—確保性能
DektakXT適合很多產(chǎn)業(yè)(包括汽車、航空和醫(yī)療設(shè)備)的精密機(jī)器零部件的表面粗糙度常規(guī)鑒定。例如,矯形植入物的背面的羥磷灰石涂層粗糙度會(huì)影響植入后的粘結(jié)力和功效。利用DektakXT進(jìn)行表面粗糙度的快速分析能力判斷晶質(zhì)生產(chǎn)是否達(dá)到預(yù)期,植入物能否通過產(chǎn)品要求。使用Vision64數(shù)據(jù)庫的pass/fail標(biāo)準(zhǔn),質(zhì)量管理部門能輕松判斷植入物是重做或者確保其質(zhì)量
太陽能光柵線分析—降低制造成本
在太陽能市場,Dektak是測量單晶硅和多晶硅太陽能面板上導(dǎo)電銀柵線臨界尺寸的。銀線的高度、寬度和連續(xù)性與太陽能電池的能量引導(dǎo)緊密相關(guān)。生產(chǎn)的理想狀態(tài)是恰如其分地使用銀,以具有導(dǎo)電性,而不浪費(fèi)昂貴的銀。Dektak XT 通過軟件分析來實(shí)現(xiàn),報(bào)告銀柵線的臨界尺寸,以確定出現(xiàn)導(dǎo)電性所需的精確分量。Vision64的數(shù)據(jù)分析方法和自動(dòng)功能有助于該驗(yàn)證過程的自動(dòng)化。
微流體技術(shù)—檢測設(shè)計(jì)和性能
Dektak XT是能在大垂直范圍(高達(dá)1mm),測量感光材料達(dá)到埃級(jí)重現(xiàn)性的探針輪廓儀。MEMS和微流體技術(shù)行業(yè)的研究者能使用Dektak XT來進(jìn)行鑒定測試,確保零件符合規(guī)格。低作用測量功能NLite+輕觸感光材料來測量垂直臺(tái)階和粗糙度
40多年不斷創(chuàng)新
建立在40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)之上—部薄膜測試儀,在部基于微處理器的輪廓儀,和部300mm自動(dòng)輪廓儀DektakXT繼承了以往的“”。新的DektakXT是首部single-arch設(shè)計(jì)的探針輪廓儀,首部內(nèi)置真彩高清光學(xué)攝像機(jī),及安裝64-bit并行處理架構(gòu)已獲得測量及操作效率的探針輪廓儀
有超過一萬臺(tái)設(shè)備,品牌Dektak以質(zhì)量、可靠性及高性價(jià)比著稱。當(dāng)需要臺(tái)階高度、表面粗糙度的精確、可靠測量時(shí),人們就會(huì)借助Dektak。引進(jìn)DektakXT,Bruker能讓您進(jìn)一步獲得可靠及高效的表面測量
提高數(shù)據(jù)采集和分析速度
利用的直接驅(qū)動(dòng)掃描平臺(tái),Dektak XT減少了掃描間的時(shí)間,而沒有影響分辨率和北京噪聲。這一改進(jìn)大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對(duì)于表面應(yīng)力長程掃描(就探針輪廓儀而言,通常是耗時(shí)的)的掃描速度。在保證行業(yè)的質(zhì)量和重現(xiàn)性前提下,DektakXT可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker64-bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作軟件Vision64,它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描是的數(shù)據(jù)分析。Vision64還具有行業(yè)內(nèi)的直觀用戶界面,簡化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置,自動(dòng)完成多掃描模式,讓重復(fù)和常規(guī)的實(shí)驗(yàn)操作變得更快速簡潔。
實(shí)現(xiàn)測量的可重現(xiàn)性
DektakXT的設(shè)計(jì)使其在測量臺(tái)階高度重現(xiàn)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),臺(tái)階高度重現(xiàn)性可優(yōu)于4埃。使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更加穩(wěn)固,降低了對(duì)不利環(huán)境條件的敏感性,如聲音和震動(dòng)噪音
應(yīng)用行業(yè):觸摸屏、半導(dǎo)體、太陽能、超高亮度發(fā)光二極管(LED)、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、高校、研究所、微電子、金屬等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測量
臺(tái)階儀Dektak XT能實(shí)現(xiàn):
的性能,臺(tái)階高度重現(xiàn)性低于4埃
Single-arch設(shè)計(jì)提供具突破性的掃描穩(wěn)定性
*的“智能電子器件”設(shè)立了新低噪音基準(zhǔn)
新硬件配置使數(shù)據(jù)采集時(shí)間縮短40%
64-bit,Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,使數(shù)據(jù)分析速度提高了10倍
頻率,操作簡易
直觀的Vision64用戶界面,操作簡易
針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng),的價(jià)值
布魯克(Bruker)以實(shí)惠的配置實(shí)現(xiàn)的性能
單傳感器設(shè)計(jì),提供單一平面上低作用和寬掃描范圍