本多W-357BM-1200超聲波清洗機(jī)[用于半導(dǎo)體行業(yè)
本多W-357BM-1200超聲波清洗機(jī)[用于半導(dǎo)體行業(yè)
特征
通過(guò)數(shù)字控制可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的振蕩。
通過(guò)各種接口，可以根據(jù)清潔設(shè)備進(jìn)行控制。
超聲波輸出可以1W為增量進(jìn)行調(diào)節(jié)。
用途：
磁頭清潔
硅片清洗
藍(lán)寶石晶圓清洗
處理半導(dǎo)體器件后的清潔
硬盤清潔
振蕩器
模型 W-357BM-1200 振蕩方式 單頻振蕩 額定輸出 1200瓦 標(biāo)稱振蕩頻率 1兆赫 電源輸入 AC200V?240V
單相50 / 60Hz的2400VA顯示 VFD（熒光顯像管）16個(gè)字符x 2行 國(guó)米
的臉模擬量輸出 4-20mA電流輸出 接點(diǎn)輸出 3點(diǎn)報(bào)警輸出，振動(dòng)檢測(cè)輸出，電源接通輸出 外置驅(qū)動(dòng)器輸入 2點(diǎn)傳感器輸入，遠(yuǎn)程輸入 RS485通訊 MODBUS（RTU）協(xié)議 外形尺寸 360（W）x 360（D）x 143（H）毫米
（不包括突起，包括橡膠底腳）大眾 7公斤
●可變輸出范圍：200W至1200W
●電源線長(zhǎng)度：3m需要高頻設(shè)備許可申請(qǐng)通知
換能器單元
根據(jù)要求，我們還可生產(chǎn)規(guī)格為2.4 kW和3.6 kW的定制振蕩器單元，以及6英寸，8英寸和12英寸兼容單元。
F型｜
8寸晶片用振動(dòng)板型
●工作液溫度范圍：5到85℃
模型 W-357BM-1200F 振蕩器型號(hào) W-357BM-1200 允許輸入 1200瓦 標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 1兆赫 有效輻射面W x Dmm 272x154 外形尺寸
WxDxHmm （不包括
接線和管道）355x245x68 材料 板：SUS316L表面電解拋光 大眾 7公斤
●銑削機(jī)：特殊PZT
●機(jī)械手線長(zhǎng)：5m x 2
S型｜
6英寸晶圓的槽型x 2
●工作液溫度范圍：5到85℃
模型 W-357BM-1200S 振蕩器型號(hào) W-357BM-1200 允許輸入 1200瓦 標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 1兆赫 有效輻射面W x Dmm 135x160 2個(gè)地方 尺寸
WxDxHmm
（不包括突起）外型 496x336x372 （包括橡膠腳） 在坦克 442x276x252 材料 儲(chǔ)罐：SUS316包裝：拜頓 排水閥 1/2英寸 大眾 18公斤
●傳感器：特殊PZT
●傳感器線長(zhǎng)：5m x 2
