M系列為七海測(cè)量技術(shù)突破之革命性性影像測(cè)量系統(tǒng)，結(jié)合光罩技術(shù)（Glass Mask）取代傳統(tǒng)以光學(xué)尺計(jì)數(shù)之測(cè)量模式。無(wú)光學(xué)尺、無(wú)累計(jì)誤差之大行程懸臂式影像測(cè)量?jī)x器，將光學(xué)尺所產(chǎn)生的區(qū)段誤差、累計(jì)誤差、回程誤差等問(wèn)題消除。突破在大行程測(cè)量?jī)x器上的限制，更能精確與客觀的獲得確切數(shù)據(jù)。專(zhuān)門(mén)針對(duì)電路板、銘版、印刷、Touch Panel等業(yè)界測(cè)量研發(fā)設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品特色：
基座、立柱、工作臺(tái)全機(jī)采用精密00級(jí)花崗巖，降低形變系數(shù)，穩(wěn)定性高；
高精度伺服馬達(dá)傳動(dòng)；
七海光罩技術(shù)測(cè)量?jī)x，無(wú)光學(xué)尺和編碼器，無(wú)阿貝誤差，精度不受機(jī)械誤差影響；
技術(shù)突破，懸臂式大行程影像測(cè)量?jī)x，高精度，無(wú)累計(jì)誤差；
可搭配激光測(cè)頭應(yīng)用；
搭配七海專(zhuān)業(yè)版測(cè)量軟件EF系列軟件；
芯片、電路板、銘版、印刷、Touch Panel等專(zhuān)用測(cè)量機(jī)型。
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | GM7060 | |
| 行程（mm） | X | 680 |
| Y | 580 | |
| Z | 100 | |
| 外型尺寸 | 1860x1270x1680 | |
| 工作臺(tái)大小 | 1020x920 | |
| 工作臺(tái)承重（kg） | 5kg | |
| 機(jī)臺(tái)重量 | 800kg | |
| 軸向測(cè)量精度 | XY(3.0+L/200)μm | |
| 平面精度 | < 5 μm | |
| 控制方式 | 自動(dòng) | |
| 攝像機(jī) | SOV-A級(jí)高解析1/3” 彩色CCD | |
| SOV-A 級(jí)測(cè)量專(zhuān)用型鏡頭 | ||
| 光源 | 輪廓光 | LED，亮度連續(xù)可調(diào) |
| 表面光 | LED，亮度連續(xù)可調(diào) | |
| 放大倍數(shù) | 約30-225倍（光學(xué)放大倍率為0.7-4.5倍） | |
| 選配功能 | 七海 16向全視角旋轉(zhuǎn)燈源系統(tǒng) | |
| 七海 12段自動(dòng)變焦鏡頭 | ||
| 觸發(fā)測(cè)頭探針組（智慧型探針測(cè)量系統(tǒng)） | ||
| 激光位移感測(cè)系統(tǒng) | ||
| 工作距離 | 90mm | |
| 電源 | 220 V ± 10% ，50 Hz（用電設(shè)備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆） | |
| 工作環(huán)境 | 20℃ ± 2℃，溫度變化＜2℃/hr，濕度45% ~ 75% | |
| 振動(dòng)＜0.002g，低于15Hz | ||
