主要特征：

• 有限元優(yōu)化的大型橋式機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證了大行程測(cè)量機(jī)足夠的強(qiáng)度和長(zhǎng)期使用時(shí)穩(wěn)定的精度。
• 采用的全鋁技術(shù)，的剛性/質(zhì)量比，保證機(jī)器的高性能和高精度。
• X向橫梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比更佳，運(yùn)動(dòng)更加可靠，該技術(shù)受到保護(hù)。
• Y軸采用?？怂箍导瘓F(tuán)獲得的燕尾型導(dǎo)軌，提高了測(cè)量機(jī)的精度和重復(fù)性。
• 三軸均采用高精度德國HEIDENHAIN光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078μm，同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮。
• Z向采取獲得了的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測(cè)量機(jī)的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
• 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保大行程測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和定位的準(zhǔn)確性。
• 采用海克斯康為Croma專業(yè)打造的IDC-I控制系統(tǒng)，21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。
• 的自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能，機(jī)器主機(jī)上布置高靈敏的溫度傳感器，保證了在溫度變化時(shí)，仍保持測(cè)量機(jī)的高精度。

規(guī)格型號(hào)與技術(shù)指標(biāo)：