日本azbil熱式微型液體流量計F7M
特征
通過將熱敏 MEMS 傳感器與高耐腐蝕石英玻璃流路相結(jié)合，我們實現(xiàn)了數(shù) mL/min 的微量液體流量測量，這是使用傳統(tǒng)測量方法難以測量的高再現(xiàn)性。
開發(fā)理念易于使用，因為它不易受流體狀態(tài)變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響，并且易于針對被測流體進行校正（校正基于熱導(dǎo)率流體）。通過測量瞬時流量和累計流量代替泵轉(zhuǎn)速、重量測量和流體供應(yīng)時間管理等替代方法，可以根據(jù)更可靠的測量值在制造過程中進行質(zhì)量控制和過程異常檢測。
可測0.1mL/min
采用利用MEMS傳感技術(shù)的熱測量原理，可以測量過去難以穩(wěn)定測量的幾mL/min的微小流量。
（測量流量范圍：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）
體積小、重量輕、安裝方便
它比傳統(tǒng)產(chǎn)品更小、更輕。
不需要單獨的轉(zhuǎn)換器（放大器）。
它可以使用隨附的安裝支架從頂面（用于水平管道）輕松安裝。
也可安裝在垂直管道中（流向：底部→頂部）。
直線流道
由于流道是直的，壓力損失小，無積液，清洗方便。
通用性高
符合IP65防護結(jié)構(gòu)。
由于產(chǎn)品外表面未使用金屬材料，因此可用于易受液體飛濺的環(huán)境，提高了對腐蝕性流體的耐受性。
接液部分由石英玻璃（流路）和氟樹脂（接頭）組成，傳感器不與液體接觸，因此可用于多種流體（不腐蝕石英玻璃或聚四氟乙烯的流體）。
日本azbil熱式微型液體流量計F7M
 | | 產(chǎn)品型號 | F7M9010 | F7M9030 | F7M9050 | | 測量流量范圍（流體為水（H2O）時） | 0.1 至 10 毫升/分鐘 | 0.3 至 30 毫升/分鐘 | 0.5–50 毫升/分鐘 | | 測量精度 | ± 5 %RD（流量范圍的 20 % 或更多），± 1 % FS（小于流量范圍的 20 %）
標(biāo)準(zhǔn)條件 * 1 表示基于我們的液體流量標(biāo)準(zhǔn)的體積流量的儀器誤差。 | | 重復(fù)性 | ± 1 %RD（流量范圍的 20 % 或更多），± 0.2 % FS（小于流量范圍的 20 %）
標(biāo)準(zhǔn)條件 * 1. 儀器誤差隨體積流量的變化基于我們的液體流量標(biāo)準(zhǔn)。 | | 可測流體 | 不堵塞流路且不腐蝕或損壞石英玻璃或聚四氟乙烯 (PFA) 的流體 水 (H2O) 以外的流體會改變測量范圍。 | | 準(zhǔn)確性/可重復(fù)性保證流體 | 水（H2O） | | 精度/重復(fù)性保證流量范圍（當(dāng)流體為水（H2O）時） | 0.2 至 10mL/分鐘 | 0.6 至 30 毫升/分鐘 | 1.0 至 50 毫升/分鐘 | | 溫度特性（流體與周圍沒有溫差的條件） | 當(dāng)流體溫度和環(huán)境溫度都在 10 至 35°C 的范圍內(nèi)且兩者相同時，與標(biāo)準(zhǔn)條件*1 的輸出值相比，±0.5% RD/°C 以內(nèi)。 | | 流體溫度范圍（保證工作范圍） | 5 至 50°C（不結(jié)冰） | | 環(huán)境溫度范圍（保證工作范圍） | 5 至 50°C（無結(jié)露或結(jié)冰），運輸/儲存溫度 5 至 60°C | | 環(huán)境濕度范圍（保證工作范圍） | 10 至 90 %RH（無冷凝） | | 流體壓力范圍 | 0 至 500 kPa | | 耐壓性 | 700 千帕 | | 安裝姿勢 | 臥式安裝或立式安裝（流向為自下而上）*2 | | 直管長度 | 50mm（流體為水（H2O）時） | | 接頭抗拉強度 | 30N | | 驅(qū)動電源電壓 | DC24V±10% 0.7W以下 | | 輸出信號 | 瞬時流量輸出：1點 1～5V DC*3（外部負載電阻：250kΩ以上，最大輸出電壓：5.6V）
外部接點輸出（集電極開路）：1點（事件輸出或積分脈沖*4） 30 V DC, 30 mA 小于 | | 外部接點輸入 | 1點 無電壓接點或集電極開路
允許ON接觸電阻：250Ω以下
允許OFF接觸電阻：100kΩ以上
允許ON殘留電壓：0.8V以下
ON時端子電流：0.5mA（接觸電阻250Ω時） | | 大量的 | 85g（包括安裝支架，不包括電纜） | | 保護結(jié)構(gòu) | IP65 | | 符合標(biāo)準(zhǔn) | EN61326-1, EN61326-2-3 | 有關(guān)產(chǎn)品規(guī)格的詳細信息，請參閱詳細的使用說明書（CP-SP-1421）。
*1 標(biāo)準(zhǔn)條件是環(huán)境溫度和流體溫度均為 23°C 的條件。關(guān)于左側(cè)以外的條件，請與我們聯(lián)系。
*2 垂直安裝時，與水平安裝時相比，測量值的輸出偏移約為±1 % RD。
*3 當(dāng)流量低于最小可測量流量范圍時，輸出信號固定為 0% (1 V)。
它還輸出高達測量流量范圍的 115% (5.6 V)。
*4 需要 PC 加載程序來更改參數(shù)設(shè)置。 |
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