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DS300質(zhì)量流量控制器

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京七星華創(chuàng)流量計有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2022/11/14 16:54:04
訪問次數(shù)407

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公司介紹主營產(chǎn)品

我們是一家專業(yè)提供工業(yè)領(lǐng)域

核心零部件的供應(yīng)商，致力于實現(xiàn)核心零部件中國造的產(chǎn)業(yè)夢想。

七星流量計傳承了氣體流量測控領(lǐng)域40多年研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗，始終以技術(shù)創(chuàng)新為基點，為客戶過程控制中氣體的精準測控提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

在流量測控產(chǎn)品迭代升級的同時，七星流量計依據(jù)工業(yè)領(lǐng)域客戶新的零部件產(chǎn)品需求進行探索研究，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品，不斷拓寬產(chǎn)品線，形成了流量測控、壓力測控、磁流體密封裝置、氣路系統(tǒng)等系列產(chǎn)品，為半導體、太陽能、燃料電池、真空鍍膜、分析儀器等行業(yè)客戶需求，提供定制化零部件綜合解決方案及產(chǎn)品服務(wù)，其營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等世界主要國家和地區(qū)。

七星流量計未來將始終專注零部件領(lǐng)域的研發(fā)制造，堅持以客戶需求為導向，深耕發(fā)展，不斷創(chuàng)新，做好中國工業(yè)領(lǐng)域核心零部件產(chǎn)品，為更多的客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品與服務(wù)。

展開顯示更多內(nèi)容

CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器；D07系列模擬式質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器； PC系列數(shù)字式壓力控制器；D08系列流量顯示儀和積算儀；閥門管件和氣體管路系統(tǒng)。

產(chǎn)品簡介在線詢價

DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對半導體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高，響應(yīng)速度快，壓力不敏感的特點，產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

DS300質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品信息

優(yōu)勢

? 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
? 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時間≤ 0.5sec。
? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
? DS300采用有效的機械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理，符合SEMI標準要求。

技術(shù)參數(shù)

DS300C
型號	DS300C
閥類型	常閉
流量規(guī)格(N2)	(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
準確度	±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (＜10% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時間	≤ 0.5sec
進口壓力	240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM 350～450KPa 流量規(guī)格＞5SLM
出口壓力	≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM ≤13.3KPa 流量規(guī)格＞5SLM
溫度系數(shù)	零點：≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時：≤±0.1% F.S./℃
耐壓	3 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金屬密封
工作壓力	0.45MPa
工作環(huán)境溫度	（10～45）℃
輸入信號	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
輸出信號	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學成分	Cr/Fe比例≥2.0； CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
標準接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭； 1.125″W型密封接頭； Compression Fittingφ6
電源接頭形式	D型9針陽接頭； D型15針陽接頭； DeviceNet接頭
重量	1.2Kg