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緊湊型等離子清洗機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)CY-CP
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/11/13 13:47:49
  • 訪問(wèn)次數(shù)215
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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州*開(kāi)發(fā)區(qū)863軟件園內(nèi),是一家專(zhuān)業(yè)從事材料制備設(shè)備和材料制備原料代理的高科技公司。重點(diǎn)專(zhuān)注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向,立志做*材料制備技術(shù)及設(shè)備和原料的提供商。 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的“研發(fā)團(tuán)隊(duì)”憑借自身在熱處理技術(shù)方面的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司 近年來(lái),在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問(wèn),他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問(wèn),并親臨一線(xiàn)指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界。 如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無(wú)人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問(wèn)題將由我們負(fù)責(zé)到底。
簡(jiǎn)單介紹: 緊湊型等離子清洗機(jī)帶有數(shù)字真空傳感器和顯示器,以及鉸鏈門(mén)。適用于各種氣體對(duì)2英寸以下晶圓片的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下,有機(jī)去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機(jī)是一種較好的單晶基材涂裝前預(yù)清潔的工具,可達(dá)到較好的涂膜質(zhì)量。
緊湊型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息
詳情介紹:

緊湊型等離子清洗機(jī)主要特點(diǎn):

1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級(jí)有機(jī)污染物,至多可容納2"。
2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具,可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
3.鉸鏈?zhǔn)介T(mén),便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室,適用于清潔2”晶圓,可選配石英舟。
5.石英室內(nèi)的可移動(dòng)石英管易于清潔和更換。

緊湊型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

射頻功率

射頻功率(線(xiàn)圈上施加的高壓和高頻電流)可在三個(gè)級(jí)別調(diào)節(jié):

低設(shè)置

680V 

10 mA 

7 W

中等設(shè)置

700V 

15 mA 

11 W

高設(shè)置

720V 

25 mA 

18 W


等離子室

?3"直徑×6.5"長(zhǎng)的石英室

?700 mL容量

?高純度石英室比玻璃具有更長(zhǎng)的使用壽命

真空計(jì)和顯示器

?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門(mén)上。

?1/8”NPT針閥,可定性控制氣體流量和腔室壓力。

?1/8”NPT三通閥,可快速切換出氣體,隔離腔室和排氣。

真空泵

包括一個(gè)雙級(jí)旋片式真空泵

輸入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相

工作氣體

?可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔,例如N2,Ar,空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類(lèi)型。

?可以使用<5%H2混合惰性氣體

?等離子清潔器不得使用。

整體尺寸


凈重

40磅

保證

一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室無(wú)保修)

免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。可能由于更新不及時(shí),會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請(qǐng)與本公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,本公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您見(jiàn)諒。

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