Automegasamdri-915B, Series C 臨界點(diǎn)干燥儀
特點(diǎn):
6”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點(diǎn)干燥儀;
內(nèi)部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速?gòu)氖覝亟档綄⒔?°C;
Post-Purge 過(guò)濾器容易更換及維護(hù);
內(nèi)置SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
的樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到;
可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀(guān)察窗,便于觀(guān)察樣品室內(nèi)部狀態(tài);
通過(guò)微處理控制器來(lái)保證自動(dòng)處理過(guò)程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性;
所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性;
集成自動(dòng)控溫;
內(nèi)置圓盤(pán)裂片保證安全;
靜態(tài)壓力控制模塊,自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
0.4μm內(nèi)部過(guò)濾器系統(tǒng)輸送清潔的過(guò)濾后的LCO2到樣品室;
每個(gè)操作模式LED顯示,一目了然;
潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì);
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn);
規(guī)格:
外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
樣品室尺寸:內(nèi)徑6.50” × 深1.25”,樣品室容積:679 ml;
溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
LCO2的流速是通過(guò)帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門(mén)來(lái)控制;
120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標(biāo)準(zhǔn)配件:
高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長(zhǎng);
外部LCO2過(guò)濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過(guò)濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
安裝工具;
防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣;
內(nèi)部的不銹鋼過(guò)濾系統(tǒng)和鍍鎳的過(guò)濾系統(tǒng)共同保護(hù)線(xiàn)路、晶片和閥門(mén)
樣品室O型圈3個(gè),樣品室照明燈2個(gè),3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè);
4個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6、4、3、2和1.25英寸;
直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
流量計(jì),可精確控制BLEED的排氣速率;
用戶(hù)手冊(cè);
所有部件一年質(zhì)保。