Autosamdri-815, Series B 臨界點(diǎn)干燥儀
- 方晶和1”圓晶MEMS釋放后的超臨界點(diǎn)干燥儀;
- 通過微處理控制器來保證自動(dòng)處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性;
- 電磁閥門以及密封適用于LCO2、乙醇及丙酮;
- 內(nèi)表面適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
- 可重復(fù)設(shè)定操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性;
- 每次運(yùn)行可以處理5×10mm的方晶或5×1”的圓晶,(提供可以兼容HF的樣品架,方便處理樣品);
- 集成自動(dòng)控溫;
- 內(nèi)置圓盤裂片保證安全;
- 每個(gè)操作模式LED顯示,一目了然;
- 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì);
- *的固態(tài)電子系統(tǒng);
- 高效隔熱冷卻系統(tǒng):在90秒內(nèi)可以把樣品室從室溫冷卻到操作所需溫度;
- 靜態(tài)壓力控制模塊,自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
- 0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
- 內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài);
- 微型計(jì)量閥門帶游標(biāo)卡尺,可實(shí)現(xiàn)重復(fù)設(shè)定及控制流速;
- 標(biāo)配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
- 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn);
規(guī)格:
- 外部尺寸:寬14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 長(zhǎng)21.5” (54.6cm);
- 占地尺寸:寬36” (92 cm) × 深30” (76 cm);
- 樣品室尺寸:內(nèi)徑1.25” × 深1.25”; 樣品室容積:25ml
- 溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
- Purge時(shí)間范圍:0-45 min
- 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標(biāo)準(zhǔn)配件:
- 高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長(zhǎng);
- 外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
- SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;
- 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣;
- 內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門
- 流量計(jì),可精確控制BLEED的排氣速率;
- 樣品室O型圈2個(gè),樣品室照明燈2個(gè),5A保險(xiǎn)絲2個(gè);
- HF兼容的10mm方晶PTFE插片架,每次操作最多能裝載5個(gè)晶片
- 安裝工具一套
- 用戶手冊(cè);
- 所有部件一年質(zhì)保。