技術參數
電源電壓 | l 交流220v,60Hz |
UPS | l 20KVA 16KW,延遲1小時 l 16節(jié)電池,容量38AH |
真空室 | l 尺寸:直徑 325毫米*高385毫米 l 材質:304不銹鋼 l 視口(窗口):約4英寸(100毫米),帶快門 |
樣品臺 | l 頂部樣品架 l 樣品表:直徑 150毫米 l 樣本數量:*大 直徑4英寸 l 轉速:0-40rpm可調 l 加熱溫度:*高700oC l |
水冷裝置 | l 水流量:2.3m3 / h l 電源:3P l 制冷量:8250Kcal / h l 壓縮機輸出功率:2.25KW |
磁控濺射槍 | l 3×2''磁控濺射槍,帶自動快門 l 向上濺射方向 l 目標直徑:2英寸 l 磁鐵:稀土磁鐵 |
射頻發(fā)生器 | l l3×RF 300W自動匹配電源 l l功率輸出范圍:5W?300W l l*大反射功率:100W l l電源穩(wěn)定性:±0.1% l l諧波成分:≤-50dbc l l電源:單相187-253 VAC,50 / 60HZ l 效率:≥70% l l功率因數:≥90% l l反射功率(*大功率):<3W l l*大負載電流:30ARMS l l*大負載電壓:7500VRMS l 射頻輸出接口:50Ω,L29或定制 l 比賽時間:1?3s l l匹配阻抗的實部范圍:0?80Ω l l匹配阻抗的虛部范圍:﹣200j?﹢ 200j l l冷卻方式:強制冷卻 |
質量流量計 | l l3×MFC質量流量控制(Ar,O2和N2) l l測量范圍:*大20sccm l 帶氣動隔離閥和過濾器。 |
通過PC或PLC全自動控制 | l 儲存至少100個配方 l 19''平板控制器 |