儀器簡介:
JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡,它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù),200nA的大電流在保證高分辨率的同時,得到高速樣品分析結(jié)果,空間分辨率,對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高,操作直觀方便,可以稱得上是一款高檔次的場發(fā)射掃描電鏡。日本電子株式會社各地事務(wù)所。
技術(shù)參數(shù):
1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)
2.加速電壓:0.1KV-30kV
3.放大倍數(shù):25-100萬倍
4.樣品室尺寸:200mm直徑樣品
5.束流強(qiáng)度:1pA到200nA
主要特點(diǎn):
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長壽命高亮度電子槍,壽命保3年,電流400nA以上
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兼顧超高分辨和大電流
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無漏磁和半漏磁物鏡可切換
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標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動全對中樣品臺
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全自動樣品更換氣鎖
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全自動樣品臺監(jiān)控系統(tǒng)
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全自動物鏡光闌
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多通道顯示系統(tǒng)
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減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
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能量過濾器標(biāo)準(zhǔn)配置
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可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
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可以選配掃描投射探頭(STEM)