石墨烯專用生長(zhǎng)爐由滑動(dòng)開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。通過滑動(dòng)戶體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫﹔配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度﹔同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。

主要用途和適用范圍:

用于石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫;

*真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4kw

爐管

高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

sUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27AI7Mo2，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用加熱區(qū)長(zhǎng)度:410mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm

工作溫度:≤1150℃溫度:1200t℃升溫速率:10℃/min

溫度:1200℃升溫速率:10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序

測(cè)溫元件:N型熱電偶恒溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管，接口為中6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±0.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5x10-1 Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì)，壓力控制系統(tǒng)等

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī)1臺(tái)，密封法蘭1套，“O"”型圈4個(gè)，石英管1根，管堵4個(gè)，紺蝸鉤1把，

說明書、合格證、保修卡各1份

可選配件

混氣系統(tǒng)中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英紺蝸，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀，氧含量分析儀等。