■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
● 發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調低頻率來保護發(fā)生器。
● 門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。
● 側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
● 運行中ERR報警：運行中出現(xiàn)以下問題設備會出現(xiàn)ERR報警，并停止裝置：RF輸出值與設定值不符，氣體流量值與設定值不符，RF反射波超過一定范圍，真空度未達到設定值，等離子處理后，設定時間內，未恢復到大氣壓。
■ 產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
規(guī)格：
| 型號 | PR1000 | |
| 方式 | DP模式、圓柱形腔體 | |
| 性能 | 發(fā)生器功率： | 0-1000W |
| 發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
| 發(fā)生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching) | |
| 構成 | 腔體材質： | 石英 |
| 腔體內尺寸： | φ400×L500mm 約62.8L | |
| 反應氣體： | 雙路工藝氣體，其中一路可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體，一路防腐蝕氣路支持CF4. | |
| 填充氣體： | 一路氮氣 | |
| 控制方式： | 全自動控制，7寸液晶觸摸屏 | |
| 真空度顯示： | 測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內真空度 | |
| 配管材質： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
| 門： | 鉸鏈門 | |
| 涂裝顏色： | 標準色，白系 | |
| 外形尺寸： | W800×D919×H1958mm （高度含警報燈） | |
| 真空泵： | 無油干式真空泵 抽速60m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
| 電源規(guī)格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
| 重量： | 約215kg | |
| 附屬品 |
| 真空管件一套、真空轉接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚 |
