用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 灰化、蝕刻處理
● 塑料封裝前處理
● 印刷基板鍍層前處理
● LED關(guān)聯(lián)部品處理
● 電子部品清洗
● 光刻膠剝離或表面殘留物去除
● 光學(xué)、金屬、機械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
● FCC對應(yīng)
特征
● 600W的小型高輸出功率
● 電極可選擇1·2·3段(采購時)
● 可處理縱型的試料收納盒
● 可選擇RIE/DP模式(采購時)
● 數(shù)據(jù)記錄器(選配)
● 適配點記憶功能(選配)
規(guī)格
型號 | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP(固定模式) |
電極構(gòu)造 | 3段獨立平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵(約345L/分)·標(biāo)配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |