標(biāo)稱(chēng)尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專(zhuān)為空氣動(dòng)力學(xué)研究試驗(yàn)中,要求安裝尺寸小,不擾動(dòng)流場(chǎng),動(dòng)態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動(dòng)態(tài)壓力分布測(cè)量而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用于如發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道壓力畸變、喘振等的空氣動(dòng)力學(xué)性能測(cè)定。
CYG503的壓力敏感元件采用*的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工,精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。*的微型化的壓力敏感芯片采用無(wú)應(yīng)力封裝技術(shù),密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細(xì)管中。絕壓型傳感器參考?jí)毫η皇切酒趁婷芊獾恼婵涨?,表壓型傳感器的參考?jí)毫η皇峭ㄟ^(guò)一根更細(xì)的不銹鋼毛細(xì)管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細(xì)尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。
CYG503A絕壓型微型壓力傳感器為探針形,標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф3.5mm,長(zhǎng)度為18mm,特制的短柱形CYG503AS將長(zhǎng)度縮短為12mm??蛇x量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。
CYG503G表壓型微型壓力傳感器為探針形、標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф3.5mm,長(zhǎng)度為18mm,背壓引出毛細(xì)管長(zhǎng)為12mm。可選量程為160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表壓力。
CYG503的設(shè)計(jì)制作已獲得國(guó)家發(fā)明、號(hào)為:.3。
CYG504微型螺栓安裝型壓力傳感器是為方便一些用戶使用要求的CYG503的衍生品種,絕壓、表壓均可。它的外形尺寸見(jiàn)附圖。
CYG503、504型傳感器由于用敏感元件正面承壓,因此,它僅適用于介質(zhì)為無(wú)腐蝕性,不導(dǎo)電性的干燥氣體。但它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常好的動(dòng)態(tài)頻響??墒褂玫膭?dòng)態(tài)頻響低至零頻、高至數(shù)十千赫茲。表面增加涂復(fù)保護(hù)可改善介質(zhì)適用能力,但以犧牲頻響特性為代價(jià)。
1、性能指標(biāo)參數(shù)
指標(biāo)/檔級(jí) | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時(shí)漂 <mv/8h |
JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出: 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流:1.5mA(表壓型)1mA(絕壓型)(恒流源)
5、工作溫度范圍:-55℃~+120℃
6、補(bǔ)償溫度范圍:-10℃~+80℃
7、過(guò)載能力: 額定量程的200%
8、加速度靈敏度:<0.001%FS/g
9、外形尺寸圖: