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Diener 等離子表面處儀 Tetra575 羅茨風(fēng)機

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更新時間：2023-08-11 09:53:43瀏覽次數(shù)：139次

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技術(shù)應(yīng)用鏈接:Tetra575LF-PC|特殊設(shè)備開關(guān)柜：寬1150mm、高1900mm、深1600mm腔室：寬600mm、高1200mm、深800mm腔室容積：約575升氣體供給：2個通過MFC控制的氣體通道發(fā)生器：1個(40kHz)（可選：13
技術(shù)應(yīng)用鏈接:

Tetra 575 LF-PC | 特殊設(shè)備 

開關(guān)柜： 寬 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm

腔室： 寬 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm

腔室容積： 約575 升

氣體供給： 2 個通過 MFC 控制的氣體通道

發(fā)生器：  1 個 (40 kHz)（可選：13.56 MHz 或 2.45 GHz）

部件支架： 22 層/（個）產(chǎn)品支架（可變）

控制系統(tǒng)： PC 控制系統(tǒng) (Windows) 

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

 

 

 

 

 

 

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