石墨烯專用生長爐由滑動開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。 | |
主要用途和適用范圍: 用于石墨烯生長、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。 | |
技術(shù)參數(shù): | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫; *真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn) 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4kw |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小 尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用 加熱區(qū)長度:410mm 恒溫區(qū)長度:200mm 工作溫度:≤1150℃ 溫度:1200℃ 升溫速率:10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 30段升降溫程序 測溫元件:N型熱電偶 恒溫精度:±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±0.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1 Torr 數(shù)顯式真空壓力表 可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等 |
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 主機(jī)1臺,密封法蘭1套,“O”型圈4個,石英管1根,管堵4個,坩堝鉤1把, 說明書、合格證、保修卡各1份 |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀等。 |