全新的*: 原位等離子清洗系統(tǒng)GV10X
GV10x 是由美國(guó)ibss Group公司與具有的等離子源共同合作開(kāi)發(fā)并生產(chǎn)的新一代原位等離子技術(shù)清洗系統(tǒng)。GV10x可以在分子泵運(yùn)行的真空狀態(tài)下工作，GV10x去除碳和碳?xì)湮廴镜男适莻鹘y(tǒng)方法的10-20倍，且具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)。排除了SEM圖像的干擾和成像中的黑色掃描框，保持SEM成像的高分辨率和穩(wěn)定性；排除聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳干擾。亮點(diǎn):
功率：5 -99 W 連續(xù)可調(diào)等離子功率
工作環(huán)境：- 2 Torr to <5 mTorr (等離子源處真空度)
在較高的真空度下（大于50 毫托），清洗氣體的平均自由程很短，允許在靠近等離子源的區(qū)域去除污染。
在較低的真空度下（小于50 毫托），清洗氣體的平均自由程比較長(zhǎng)，能均勻高效的清除碳污染。
整個(gè)清洗反應(yīng)過(guò)程發(fā)生在分子泵運(yùn)行的狀態(tài)下，無(wú)需關(guān)閉抽真空系統(tǒng)。
柔和：使用中性氧或氫的自由基通過(guò)非動(dòng)力學(xué)過(guò)程灰化氣相碳?xì)浠衔锖捅砻嫣肌?/span>
Ibss group公司引進(jìn)Gentle Asher 腔體拓展了GV10x的應(yīng)用，用以清潔放入電子顯微鏡腔體前的樣品。連接了GV10x的Gentle Asher™腔體 GA/GV 可以極大地防止黑色掃描方框的生成。在將電鏡腔清潔到可接受的碳?xì)湮廴舅胶?，可以使用順流工藝，通過(guò)簡(jiǎn)單地將GV10x源移動(dòng)到Gentle Asher腔中，達(dá)到樣品清潔和儲(chǔ)存的目的。客戶(hù)的報(bào)告聲稱(chēng)這種有效的結(jié)合以更少的損傷巧妙地去除TEM樣品臺(tái)和任何類(lèi)型樣品的污染，同時(shí)保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳?xì)湮廴舅降囊卓刂菩浴ｎA(yù)清潔樣品和樣品臺(tái)避免了污染電鏡腔體，這樣就延長(zhǎng)了電鏡清洗的周期。
