日立掃描電子顯微鏡
SU3500
- 低加速電壓觀察時分辨率更高,可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
- 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
- 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動功能縮短*3了大約11秒
- 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”*4
- 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時立體成像的“實(shí)時立體觀察功能”
場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)
- 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2