富士FUJI / ZAF熱導式氣體分析儀
特點
· 清晰易見的大形LCD顯示。
· 可與計算機通信。
· 小型的面板安裝結(jié)構(gòu)。
· 零點、滿量程點的自動校正功能(選配件)。
· 可對其它氣體的干涉影響進行補償運算(選配件)。
· 氣體濃度報警輸出(選配件)
可任選上·下限報警、上·上限報警、下·下限報警輸出中的某一項。
可任選上·下限報警、上·上限報警、下·下限報警輸出中的某一項。
· 量程切換(選配件)
通過正面鍵盤操作的切換方式或通過外部接點輸入的切換方式。量程比：測量H2、He 為1:10 測量Ar、CH4、CO2 為1:5。
通過正面鍵盤操作的切換方式或通過外部接點輸入的切換方式。量程比：測量H2、He 為1:10 測量Ar、CH4、CO2 為1:5。
· 測量輸出信號的線性化(選配件)
用途
· 半導體裝置的H2氣體濃度測量
· 氫氣發(fā)生裝置的H2氣體濃度測量
· 燒結(jié)爐的H2氣體濃度測量
· 煤氣發(fā)生設備的Ar、He、CH4濃度測量
· 超導裝置的He氣體濃度測量
· 空氣分離設備的Ar氣體濃度測量
測量原理
| 熱導式氣體分析儀是利用2種組分氣體不同的熱導率來測量氣體濃度。檢測器內(nèi)部有參比室和測量室，內(nèi)部分別張緊著細鉑絲。參比室內(nèi)密封著參比(基準)氣體。鉑絲與外部定值電阻組合，形成電橋回路，恒定電流分別流過各鉑絲，使之發(fā)熱。被測組分中若濃度有變化，則試樣氣體的熱導率會隨之變動，從而使測量室鉑絲的溫度發(fā)生變化。將這種溫度變化以電阻值變化的形式取出，就可以計算出被測氣體的濃度。 |
主要規(guī)格
| 標準規(guī)格 | 測量方式 | 熱傳導式 |
| 測量組分 | He、Ar、H2、CH4、CO2 | |
| 測量范圍 | H2：0～3……100％，100～90，100～80％ He：0～5……100％，100～90，100～80％ Ar：0～10……100％，100～90，100～80％ CH4：0～20……100％，100～80％ | |
| 輸出信號 | DC4～20mA、DC0～1V、DC0～10mV 非隔離輸出(其中某一點，根據(jù)型號) | |
| 容許負載電阻 | 不超過550Ω(DC4～20mA輸出時) | |
| 輸出電阻 | 100kΩ(DC0～1V、DC0～10mV時) | |
| 顯示器 | 帶背光LCD | |
| 測量值顯示 | 最多4位或小數(shù)點后帶2位 | |
| 輸出信號保持 | 手動校正、自動校正時保持校正前的輸出值 | |
| 電源電壓、功耗 | AC100～240V 50/60Hz、約50VA | |
| 環(huán)境溫度、濕度 | －5～45℃、不超過90%RH(應無結(jié)露) | |
| 安裝方法 | 面板嵌入型 | |
| 外形尺寸(H×W×D) | 240×192×213mm | |
| 重量 | 約5kg | |
| 外殼類型 | 鋼板制外殼、室內(nèi)型 | |
| 氣體出入口、換氣口 | Rc1/4或NPT1/4(根據(jù)) | |
| 換氣氣體的流量 | 約1L/min(根據(jù)需要進行) | |
| 適用標準 | CE標記(預定取得認證) | |
| 性能 | 重復性 | ±1%FS |
| 漂移 | 零點：±2% FS/周 以內(nèi)(H2分析儀) 滿量程點：±2% FS/周 以內(nèi)(H2分析儀) | |
| 響應速度(90%響應) | 標準：60秒以內(nèi)(0.4L/min流量) 高速：10秒以內(nèi)(1L/min流量) 但H2分析儀(參比氣為N2) | |
| 標準測量氣體條件 | 溫度 | 0～50℃ |
| 氣體流量 | 0.4±0.05 L/min 且應穩(wěn)定 | |
| 塵埃 | 不超過1µm的微粒， 不超過100µg/Nm3 | |
| 壓力 | 不超過10kPa | |
| 氣霧、腐蝕性氣體 | 無 | |
| 水分 | 不超過2℃飽和 | |
| 選配件規(guī)格 | 線性化 | 對測量值輸出信號(DC4～20mA)附加線性化 直線度不超過 ±2%FS |
| 繼電器接點輸出 | 5點的1a輸出 繼電器接點容量：AC220V/2A(阻性負載) 各接點間以及與內(nèi)部電路之間為繼電器隔離 以下功能最多可選擇5項 1. 自動校正用零點電磁閥驅(qū)動輸出 2. 自動校正用滿量程電磁閥驅(qū)動輸出 3. 自動校正時吸氣泵OFF輸出 4. 上限(1點)濃度報警輸出 5. 下限(1點)濃度報警輸出 6. 上下限(1點)濃度報警輸出 7. 上限(1點)及下限(1點)濃度報警輸出 8. 上限2段(各1點)濃度報警輸出 9. 下限2段(各1點)濃度報警輸出 10. 分析儀異常或自動校正異常報警輸出 11. 校正中輸出 12. 量程信息輸出 | |
| 接點輸入 | 3點無電壓接點輸入 ON：0V、OFF：DC5V、ON時電流5mA 與內(nèi)部電路為光耦合器隔離、接點輸入之間為非隔離 可輸入以下3點 1. 遠程測量值輸出保持 2. 遠程量程切換(雙量程分析儀) 3. 遠程自動校正開始 | |
| 干涉氣體測量值輸入 | H2分析儀干涉用模擬量輸入(DC1～5V) 輸入外部氣體分析儀的CO2或CH4中某一組分。 需要在本公司的工廠進行調(diào)整。訂貨時確認被測氣體的詳細情況。 | |
| 自動校正功能 | 按照事先設定的周期自動進行零點、滿量程的校正。驅(qū)動設置在外部的電磁閥，校正氣體即依次流動。 | |
| 通信功能 | RC232C(9針D-sub輸出) 半雙工比特連續(xù)異步周期式 MODBUS協(xié)議、通信速度9600bps 通信內(nèi)容：測量濃度值、各種設定值的讀寫、儀表狀態(tài)輸出 |
