設備特點
+ 六維度自由移動
+ 厘米級行程,納米級精度的位置控制
+ 閉環(huán)位移器,機械穩(wěn)定性
+ 50 nm 線性移動精度,1 μrad 傾角精度
+ 特殊材質(zhì),兼容各種光學環(huán)境與超高真空環(huán)境
+ 軟件全自動操控
高穩(wěn)定性
行程1mm范圍,高度可重復性 | |
行程1mm范圍,誤差小于50nm | |
小范圍內(nèi),誤差小于10nm |
標準配件
AMC100位移控制器 + 同時控制六個方向位移; + 結合attocube專門開發(fā)的 hexaCUBE控制軟件; + 兼容Labview; |