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SFEQ-1型超臨界二氧化碳清洗裝置

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱南通儀創(chuàng)實驗儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/9/7 15:51:39
  • 訪問次數(shù)127
產(chǎn)品標簽:

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南通儀創(chuàng)實驗儀器有限公司座落于江蘇省海安市南莫鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū)(黃陳村),是以設(shè)計、 制造超臨界流體裝置和石油科研儀器為主的新型技術(shù)企業(yè)。產(chǎn)品用于新材料、新能源以及國防、醫(yī)藥、食品、石油化工等領(lǐng)域。長期以來,企業(yè)始終堅持'創(chuàng)新進取,與時俱進"的發(fā)展方針,專注于產(chǎn)品的拓展、升級。利用成熟的智能科技和現(xiàn)代化儀器設(shè)計理念,不斷優(yōu)化產(chǎn)品的工藝、性能,提升產(chǎn)品的綜合競爭力。經(jīng)多年的堅實運營,企業(yè)在超臨界流體應用和石油行業(yè)等方面積累了富、繢經(jīng)驗,先后形成具有很強競爭力的產(chǎn)品,如超臨界氣凝膠干燥、超臨界萃取、超臨界清洗、水氧化、反應等系列產(chǎn)品?!白⒅丶毠?jié),精益求精是企業(yè)一貫的作風,在開拓提升產(chǎn)品的同時,企業(yè)注重產(chǎn)品的細節(jié)掌控,嚴格按照IS09001: 2015質(zhì)管理體系要求進行產(chǎn)品的過程和成品檢驗,保證產(chǎn)品安全可靠、質(zhì)量穩(wěn)定。牢記"產(chǎn)品的安全質(zhì)量,從每個細節(jié)抓起”。在提高自身創(chuàng)新能力的同時,企業(yè)不斷加強與國內(nèi)科研單位的合作,先后與北京大學、國防科技大學、軍事防化研究院、北京理工大學、北京化工大學、北京工業(yè)大學、同濟大學、中國大學、東華理工大學、中國航天科工六院、中國工程物理研究院、國核電運等科研院所建立協(xié)同合作關(guān)系。團結(jié)、創(chuàng)新、實、奮進是企業(yè)矢志不渝的追求。企業(yè)倍加珍惜每位用戶的認同,持"- -、戶至上、以質(zhì)興業(yè)、以優(yōu)取勝"的經(jīng)營宗旨,不斷交予用戶優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,與用戶優(yōu)勢互補、攜手共進!
超臨界萃取設(shè)備
超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備。應用此設(shè)備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,且平均粒徑小于傳統(tǒng)清洗的粒徑。相對用等離子法清洗,該方法不會對硅片造成損傷,同時可減少工藝步...
SFEQ-1型超臨界二氧化碳清洗裝置 產(chǎn)品信息

  超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備。應用此設(shè)備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,且平均粒徑小于傳統(tǒng)清洗的粒徑。相對用等離子法清洗,該方法不會對硅片造成損傷,同時可減少工藝步驟,節(jié)省時間,提高工作效率。

  超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備擁有良好的溫度和壓力控制系統(tǒng),并配有遠程智能化操作系統(tǒng),是一個適合高校和科研機構(gòu)的半導體工藝平臺。該設(shè)備有望解決微電子行業(yè)清洗工藝中的許多難題,例如刻蝕以及灰化后高縱深比結(jié)構(gòu)清洗、刻蝕以及灰化后多孔低介電材料清洗、清洗后干燥、半導體器件金屬顆粒的清洗等

  超臨界超聲清洗目前應用領(lǐng)域是核電特種清洗、電子電路芯片的清洗以及精密機加工件的表面和層隙清洗。

  小型清洗裝置,利用超臨界二氧化碳的鉆透攜帶能力,對清洗物表面和深縫隙進行大流量沖洗,并攜帶分離收集,二氧化碳實現(xiàn)循環(huán)使用。整個清洗過程在一密閉回路中進行,對環(huán)境無污染,清洗物表面質(zhì)量好。

序號

項目名稱

性能參數(shù)

1

工作壓力

≤35MPa

2

工作溫度

室溫~90℃

3

清洗釜

1L/35MPa           

4

清洗工裝

塔式鎖緊結(jié)構(gòu)2-24片

5

回收釜

1L+1L /30MPa

6

制冷系統(tǒng)

2400kcal/h 溫控范圍:-5℃~﹢5℃風冷,密封循環(huán)

7

二氧化碳儲罐

2L/16MPa

8

二氧化碳泵

4L/h  40MPa      雙柱塞變頻可調(diào)

9

電源

AC380V 50Hz   三相五線9kW

設(shè)備優(yōu)勢

1、清洗工裝采用塔式結(jié)構(gòu),并設(shè)置均布系統(tǒng),保證每片樣品都與高速清洗流體接觸;

※注:清洗釜體結(jié)構(gòu)以及工裝結(jié)構(gòu)均以實際樣品為依據(jù)設(shè)計、配置。


關(guān)鍵詞:清洗設(shè)備 芯片
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