等離子廢氣凈化器用于VOCs去除的等離子體大多屬于低溫等離子體范疇。在環(huán)保領(lǐng)域，低溫等離子體一般可以通過電暈放電、沿面放電及介質(zhì)阻擋放電的形式產(chǎn)生，通過介質(zhì)阻擋放電、輝光放電、電暈放電、射額放電等產(chǎn)生的低溫等離子體，其體系中電子的溫度高達(dá)上萬攝氏度，當(dāng)具有高能量的電子與VOCs分子發(fā)生碰撞時，會直接轟碎這些揮發(fā)性有機(jī)化合物分子使其降解，伴隨著激發(fā)、電離、解離等反應(yīng)的發(fā)生，這些VOCs大分子轉(zhuǎn)化成無毒無害的H２O和Ｃ化等分子，從而達(dá)到凈化效果。

等離子廢氣凈化器等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→高能電子

(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基 團(tuán)

(3) 活性基團(tuán)+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團(tuán)+活性基團(tuán)→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機(jī)制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱為電離氣體，如果外電場產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。