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混氣PECVD設(shè)備

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200 P
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2022/9/2 9:19:30
  • 訪問次數(shù)271
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  鄭州科佳電爐誠招產(chǎn)品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業(yè)研發(fā)、制造高低溫加熱干燥設(shè)備、UV(紫外線)干燥設(shè)備。公司擁有優(yōu)良的加工設(shè)備和*的加工工藝和檢測方法。主營產(chǎn)品。其中高溫加熱設(shè)備有:實(shí)驗(yàn)電爐箱式電爐、管式電爐、馬弗爐、高溫電爐鐘罩爐、升降爐、真空爐、井式爐氣氛爐;

   低溫加熱干燥設(shè)備有:工業(yè)精密熱風(fēng)烤箱、潔凈型熱風(fēng)烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設(shè)備UV固化機(jī)、UV干燥機(jī)、UV上光機(jī)等。我們堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向,致力于不斷提高產(chǎn)品的質(zhì)量和完善的服務(wù),努力確??蛻魸M意。

     我們在堅(jiān)持自主創(chuàng)新的基礎(chǔ)上吸收國內(nèi)外優(yōu)秀產(chǎn)品的*技術(shù),結(jié)合國內(nèi)實(shí)際情況研究開發(fā)、生產(chǎn)高低溫干燥設(shè)備UV干燥設(shè)備。高溫加熱干燥設(shè)備產(chǎn)品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業(yè)等;廣泛用于陶瓷化工、電子冶金、新材料開發(fā)機(jī)械耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)。低溫加熱干燥設(shè)備和UV(紫外線)干燥設(shè)備廣泛應(yīng)用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關(guān)硅膠按鍵、光學(xué)鏡片線圈、化工、木器、運(yùn)動(dòng)鞋、商標(biāo)印刷、紙張印刷、汽車配件塑膠領(lǐng)域。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進(jìn),合作共贏!

實(shí)驗(yàn)電爐,馬弗爐,旋轉(zhuǎn)升降爐,高溫真空爐
產(chǎn)品描述:KJ-T1200PECVD是一種PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成
混氣PECVD設(shè)備 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品描述:
    KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴(kuò)散。
 
產(chǎn)品參數(shù):
 
型號KJ-T1200 PECVD
部分:標(biāo)準(zhǔn)件
等離子射頻電源
 
輸出功率5 -500W可調(diào),均勻性 ± 1%
RF頻率13.56 MHz ±0.005%
反射功率 200W
射頻輸出端口50 Ω,N型
噪音<50 dB.
冷卻空氣冷卻
管式爐部分
 
顯示LED
形式分體式和上部可打開
連續(xù)工作溫度≤1100℃
升溫速率建議:0~10℃/min(20℃/min)
溫區(qū)長度500mm
加熱元件含鉬電阻絲
熱電偶K型
溫度均勻性±1℃
爐管尺寸200m外徑 X 長度1600mm
材質(zhì):石英管 
溫度控制通SCR功率控制進(jìn)行 PID 自動(dòng)控制
加熱曲線30步可編程
法蘭不銹鋼帶閥真空法蘭 
電壓380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪的推車。
質(zhì)量流量計(jì)三款精密質(zhì)量流量計(jì):
MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
(或根據(jù)您的要求)
底殼安裝1個(gè)氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥,手動(dòng)控制3種氣體混合
 
數(shù)字真空計(jì)皮拉尼數(shù)字真空計(jì) 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 

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