成儀PECVD系統(tǒng)(PE-12100C)
PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。
該型號PECVD為成儀款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，在PECVD前端加入了氣體預熱區(qū)，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。
主要特點：
1. 氣體預熱——增加前端氣體預熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好；
2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
3. 管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。
4. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力；
5. 射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間，自動運行；
6. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離；
7. 整機結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
詳細參數(shù)：
加熱爐部分 | ||
1 | 爐膛模式 | 開啟式爐膛 |
2 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
3 | 極限溫度 | 1400℃ |
4 | 工作溫度 | ≤1350℃ |
5 | 升溫速率 | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
6 | 加熱溫區(qū) | 3溫區(qū) |
7 | 單溫區(qū)長度 | 150 mm |
8 | 爐管規(guī)格 | 100*2000 mm |
9 | 控溫精度 | ±1℃ |
10 | 密封方式 | 快速法蘭密封 |
11 | 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
12 | 預存曲線 | 可預存15條溫度曲線 |
13 | 超溫報警 | 有 |
14 | 過流保護 | 有 |
15 | 斷偶提示 | 有 |
16 | 測溫元件 | s型熱電偶 |
17 | 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
18 | 外形尺寸 | 2600*860*1400MM |
射頻電源功率 | ||
1 | 信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
2 | 功率輸出范圍 | 5W-300W |
3 | 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
4 | 諧波分量 | ≤-50dbc |
5 | 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
6 | 整機效率 | >=70% |
7 | 功率因素 | >=90% |
8 | 冷卻方式 | 強制風冷 |
9 | 真空部分 | |
10 | 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
11 | 功率 | 500W |
12 | 抽氣速率 | 4Ls |
13 | 進氣口口徑 | KF25 |
14 | 排氣口口徑 | KF25 |
15 | 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
16 | 噪音 | 55dB |
17 | 極限真空 | 4X10-2Pa |
氣路系統(tǒng) | ||
1 | 1,2氣路采用DB07K系列 | |
準確度：±1.5% | ||
重復精度：±0.2% | ||
響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec | ||
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa | ||
2 | 3路采用高精度CS200系列 | |
準確度：±0.35%FS ±1.0%SP | ||
線性：±0.5%FS | ||
重復精度：±0.2%FS | ||
響應時間：氣特性：1Sec | ||
整機系統(tǒng)特色 | ||
1 | 正壓測量 | -100Kpa---100Kpa |
2 | 真空測量 | 10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測量） |
3 | 正壓保護 | 支持 |
4 | 壓力恒定 | 支持 |
5 | 智能氣路 | 支持 |
6 | 氣路定時 | 支持 |
7 | 射頻工作時間設定 | 支持 |
8 | 移動速度調(diào)節(jié) | 支持 |
9 | 系統(tǒng)真空度 | 4.8×10-3Pa |
