多晶硅鑄錠爐
型號:ZG-450D
詳細描述:
一. 設備用途:本設備為產品,采用電阻加熱方式,底部進出料結構。一次裝入多達450Kg/500kg(視坩堝尺寸而定)多晶硅原料,用于多晶硅料的鑄錠。
二. 設備特點:
1、 爐底設有防漏硅裝置及防爆裝置;
2、 溫度梯度好,拉出硅棒效果好,雜質少;
3、 爐底升降采用機械傳動機構,定向結晶通過爐內升降機構,伺服機構保溫罩升降平穩(wěn),操作方便
4、 本產品重要部件已獲得,一種帶可升降式保溫罩的多晶硅鑄錠爐;實用新型.5;一種帶水冷式雙電極和軟電纜的多晶硅爐;實用新型.2;發(fā)明.7。
三. 技術參數:
1.額定功率:200KW
2.常用溫度:1500℃,高溫度:1600℃
3.冷態(tài)極限真空度:<1Pa
4.坩堝尺寸:870×870×420(L×W×H)mm
5、大鑄錠重量: 450Kg
6.移動隔熱屏大位移量:380(mm)
7.移動隔熱屏提升速度: 5~100mm/h(可調)