快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，由我公司借鑒了制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。
應(yīng)用領(lǐng)域
? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長
? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 擴(kuò)散 (Diffusion);
? 離子注入后退火 (Implant Annealing);
? 電極合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);
主要特點(diǎn)
? 極速升溫100℃/S，極速降溫100℃/S;
? 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻;
? 樣品實(shí)際溫度數(shù)據(jù)可通過手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格(選配);
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | RTP快速升溫爐 |
產(chǎn)品型號 | RTP1100 |
額定溫度 | 1100℃ |
溫場均勻性 | ±2℃ |
爐膛升溫速率 | ≥100℃/S |
降溫速率 | ≥100℃/S |
操控系統(tǒng) | 智能AIO操作系統(tǒng) |
操作界面 | 7英寸觸摸屏 |
加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
加熱腔體結(jié)構(gòu) | 雙層石英管 |
外管直徑 | 100mm |
內(nèi)管直徑 | 80mm |
氣體保護(hù)方式 | 外管進(jìn)氣，內(nèi)管出氣 |
超溫保護(hù) | 溫度出現(xiàn)過高時(shí)切斷主回路 |
式樣有效空間 | 70*100mm |
真空系統(tǒng) | 8L/S雙級聯(lián)真空系統(tǒng)（選配） |
整機(jī)真空度 | 3Pa |
真空啟動方式 | 根據(jù)程序設(shè)置自動啟停 |
抽氣端口尺寸 | KF16 |
供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
法蘭冷卻方式 | 水冷（短時(shí)間無需水冷）（可選配水冷機(jī)） |
真空顯示 | 真空壓力表（可選配數(shù)顯真空計(jì)） |
上位機(jī)操控 | 基于安卓系統(tǒng)APP（選配） |
數(shù)據(jù)導(dǎo)出方式 | APP導(dǎo)出Excel表格（選配） |
額定功率 | 12kw |
外形尺寸 | 950*500*560mm |
重量 | 50kg |
配件 | 管堵2支，法蘭水冷套1支，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說明書1本。 |
